DK -Bogen -Ionenbeschichtung

Bogen -Ionenbeschichtung

PVD- Physikalische Dampfablagerung
Eine Form der physikalischen Dampfablagerung (PVD -Beschichtung) ist die Bogen -Ionenbeschichtung. Die Geschichte der PVD -Beschichtung begann mit der ARC -Technologie, die ihren Ursprung beim Lichtbogenschweißen hat.

Ziele

Das zu verdunstende Metall wird als fester Block (Ziel) gegen die Innenseite einer Vakuumkammer platziert. Eine Leuchtenentladung wird entzündet und läuft auf dem Ziel und hinterlässt einen Fußabdruck. Kleine Flecken mit einigen μm -Durchmesser -Zielmaterial werden verdampft. Die Bewegung des Bogens kann von Magneten geleitet werden.

Plasmabeschichtung

Das verdampfte ionisierte Material wird als Plasmakoating an einem Produkt verwendet, das sich in der Vakuumkammer dreht. Bogenbeschichtungen werden als Werkzeugbeschichtung und Komponentenbeschichtung verwendet.

Beispiele für Beschichtungen

Beispiele für die Bogenbeschichtung sind Zinn-, Aitin-, AICRN-, Tisin-, Ticn-, CRCN- und CRN -Beschichtung

Schematische Ansicht eines PVD -ARC -Prozesses.

Die charakterisierte ARC -Beschichtungstechnologie:

Hohe Abscheidungsraten (1 ~ 3 μm/h) hohe Ionisierung, was zu einer guten Adhäsion und dichtem Beschichtungen führt, wenn das Ziel abgekühlt ist, wird nur wenig Wärme am Substrat erzeugt. Selbst Beschichtung bei Temperaturen unter 100 ℃ ist möglich, dass mehrere Zusammensetzungen von Metallen entverngelegt werden können, sodass das verbleibende feste Ziel in seiner Komposition unverdampft wird. Die Kathoden können in jeder Position platziert werden (horizontal, vertikal, kopfüber), was ein flexibles Maschinendesign ermöglicht.

Die Hauptnachteile der Bogenbeschichtungstechnologie:

Begrenzte Art von Zielmaterialien - nur Metalle (keine Oxide) - die aufgrund der hohen Stromdichten keine zu niedrige Verdampfungstemperatur aufweisen. Eine Menge des Zielmaterials wird als kleine Flüssigkeitstropfen ausgeworfen.