Um das staatliche Feedback -Steuerungsgesetz tatsächlich zu erkennen, muss die Eingabe und Ausgabe des Kontrollobjekts, das direkt gemessen werden kann, verwendet und ein dynamisches System festgelegt, um den Zustand gemäß der Vakuumbeschichtungsmaschine zu bestimmen, die als Beobachter bezeichnet wird. Das dynamische System, dessen Steuergesetz selbst durch den Ausgang bestimmt wird, wird als dynamischer Kompensator bezeichnet.
Eines der größten Merkmale des auf der staatlichen Gleichung basierenden Steuerungssystemdesigns besteht darin, dass die Konstruktion des Zustandsschätzers unabhängig voneinander durchgeführt wird, nachdem das Kontrollgesetz festgelegt wurde.
Das heißt, bis auf die Struktur des Kontrollobjekts wird es durch Algorithmus berechnet.
Auf diese Weise enthält ein System, das nicht nur das Steuerobjekt einschließlich der externen Umgebung enthält, sondern auch die geschlossene Schleife stabil und kann den Zielwert verfolgen. Das schwierige Problem für Designer von Vakuumbeschichtungsmaschinenherstellern ist jedoch, ob die Bewertungsfunktion oder die Methode der Polekonfiguration verwendet werden, nachdem bestimmte Entwurfsindikatoren angegeben sind.
Um dieses Problem zu lösen, wird die Bewertungsfunktion normalerweise geändert, und dann wird die Bewertungsfunktion gemäß der Änderung der Kontrollsystemeigenschaften gefunden, die mehrmals wiederholt werden müssen.
Die Systemsteuerung der Vakuumbeschichtungsmaschine übernimmt häufig die Form einer stufenen oder blockierten linearen freien Systemausgabe, um externe Störungen und Zielwert auszudrücken. Daher wird in der modernen Kontrolltheorie ein solches Kontrollsystem insbesondere als "Servosystem" bezeichnet.
Die Gestaltung dieses Servosystems erfolgt wie folgt: Erstellen Sie ein externes Umgebungsmodell mit Kontrollobjekten wie Störungen und Zielwerten und suchen Sie nach staatlichen Rückmeldungen für das gesamte System in Kombination mit Kontrollobjekten. Wärmeleitverdampfung Vakuumbeschichtungsmaschine
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