Was ist das Arbeitsprinzip der kathodischen Lichtbogenbeschichtung?

Erstens liegt die ARC -Streiknadel (Anode) mit positivem Potential nahe am Ziel (Kathode) mit negativem Potential. Wenn der Abstand zwischen Anode und Kathode klein genug ist, wird das Gas zwischen den beiden Elektroden abgebaut und bildet einen Lichtbogenstrom, der dem BOD -Striking mit elektrischem Schweißen ähnelt. Zu diesem Zeitpunkt wird ein Teil von N2 ionisiert, um Stickstoffkationen und Elektronen zu bilden.

Das Stickstoffkation wird von der elektrischen Feldkraft angezogen und fliegt zur Kathode in der Nähe des Ziels, und das Elektron fliegt zur Bogenzündungsnadel. Die Masse des Ions ist jedoch weitaus größer als die des Elektrons. Daher ist unter der gleichen elektrischen Feldkraft der Bewegungsabstand des Elektrons größer als die des Kationen. Wenn das Elektron die Anode erreicht, erreicht das Ion daher nicht das Kathodenziel, sondern fliegt zur Bogenzündung, die die positive Ionenakkumulationsschicht in der Nähe der Zieloberfläche gebildet wird.

Der Abstand zwischen dem Kation und der Kathodenzieloberfläche ist sehr klein und bis zum Mikron -Niveau. Laut E = U / D ist ersichtlich, dass das elektrische Feld im Raum zu diesem Zeitpunkt hoch ist, was die Elektronen aus dem Ziel "zieht". Die "gezogenen" Elektronen fliegen vom Kathodenziel zur positiven Ionenakkumulationsschicht und bilden einen Strom. Die Stapelschicht ist mit der Zieloberfläche verbunden und ein Bogen wird in der Nähe der Zieloberfläche erzeugt.

Gleichzeitig werden die positiven Ionen von der Kathoden -Zieloberfläche angezogen, wodurch die positiven Ionen die Zieloberfläche bombardieren und Sputter erzeugen. Da die Filmpartikel entweder verdampften oder gesputtert werden müssen, um die positive Ionenakkumulationsschicht zu durchlaufen, und beim Fliegen aus der Kathodenzieloberfläche werden die Filmpartikel vom Bogen an der Zieloberfläche beeinflusst, so dass die Teilchen, die am Werkstück ankommen, ionischer Zustand sind.

Die negative Verzerrungsspannung wird normalerweise auf das Werkstück angewendet, sodass die positiven Ionen unter der Wirkung der elektrischen Feldkraft zum Werkstück fliegen und das Werkstück bombardieren Hersteller von DLC -Beschichtungsmaschinen . Diese Bombardierung wird die Haftung des Films verbessern und die Reibung dicht machen, was sehr vorteilhaft ist, um die Qualität des Films zu verbessern.

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