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Mehrere häufige Vakuumpumpen in der Vakuumbeschichtungstechnologie
Diffusionspumpe
Die Diffusionspumpe ist eines der weit verbreiteten und Hauptwerkzeuge, um ein hohes Vakuum zu erhalten, das normalerweise als Öldiffusionspumpe bezeichnet wird. Die Diffusionspumpe ist eine Art Sekundärpumpe, die mechanische Pumpe als vordere Pumpe benötigt. Hersteller von Plasmabeschichtungsmaschinen
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