Was ist eine Magnetron -Sputter -Vakuumbeschichtungsmaschine und wie funktioniert es?
Die Magnetron-Sputter-Vakuumbeschichtungsmaschine ist eine hochmoderne Technologie, die zur Ablagerung von Dünnscheiben auf einer Vielzahl von Substraten verwendet wird. Aber was genau ist es und wie funktioniert es?
Im Kern die Vakuumbeschichtungsmaschine für Magnetronsputter ist eine High-Vacuum-Kammer, die ein Zielmaterial enthält, typischerweise ein Metall oder eine Legierung, und ein Substrat, das beschichtet werden soll. Der Prozess bombardiert das Zielmaterial durch energiereiche Ionen, die Atome von seiner Oberfläche entfernen und auf das Substrat ablegt und einen dünnen Film bildet.
Eine der Schlüsselkomponenten der Magnetron-Sputter-Vakuumbeschichtungsmaschine ist das Magnetron, bei dem es sich um eine Art Plasmaquelle handelt, die ein hoch ironisiertes Plasma in der Kammer erzeugt. Das Magnetron besteht aus einer Kathode (dem Zielmaterial), einer Anode und einem Magnetfeld. Das Magnetfeld dient dazu, das Plasma zu beschränken und die Ionisierung der Gasmoleküle in der Kammer zu effizienterem Sputtern zu verbessern.
Der Vorgang beginnt damit, die Kammer in ein hohes Vakuum zu pumpt, typischerweise etwa 10^-6 Torr. Das Zielmaterial wird dann von Ionen bombardiert, die Atome abwerfen und einen Fluss von Partikeln erzeugen, die auf das Substrat abgelagert werden. Die Ablagerungsrate und die Filmeigenschaften können durch Einstellen des Ionenflusss, der Zielspannung und des Drucks in der Kammer gesteuert werden.
Einer der Vorteile der Magnetron -Sputter -Vakuumbeschichtungsmaschine ist die Vielseitigkeit. Es kann verwendet werden, um eine breite Palette von Materialien, darunter Metalle, Legierungen, Keramik und Halbleiter, abzuscheiden. Es kann auch verwendet werden, um mehrschichtige Beschichtungen zu erzeugen, die einzigartige Eigenschaften wie verbesserte Härte, Verschleißfestigkeit oder optische Eigenschaften aufweisen können.
Ein weiterer Vorteil der Magnetron -Sputter -Vakuumbeschichtungsmaschine ist die hohe Einheitlichkeit. Das Magnetfeld in der Kammer dient dazu, den Ionenfluss gleichmäßig über die Oberfläche des Ziels auf eine gleichmäßigere Ablagerungsrate und Dicke des Films zu verteilen.
Zusammenfassend ist die Magnetron -Sputter -Vakuumbeschichtungsmaschine eine hoch entwickelte Technologie, die in Branchen wie Luft- und Raumfahrt, Elektronik und Optik häufig eingesetzt wird. Seine Fähigkeit, eine breite Palette von Materialien abzulegen, mehrschichtige Beschichtungen zu erstellen und hoch einheitliche Filme zu produzieren, macht es zu einem unverzichtbaren Werkzeug für Forschung und Entwicklung sowie eine großflächige Produktion.
Multi-Arc-Ionen- und Sputterbeschichtungen können in einer Vielzahl von Farben abgelagert werden. Das Farbenbereich kann durch Einführung von reaktiven Gasen während des Abscheidungsprozesses weiter verbessert werden. Die weit verbreiteten reaktiven Gase für dekorative Beschichtungen sind Stickstoff, Sauerstoff, Argon oder Acetylen. Die dekorativen Beschichtungen werden je nach Metall-Gas-Verhältnis in der Beschichtung und der Struktur der Beschichtung in einem bestimmten Farbbereich hergestellt. Beide Faktoren können durch Ändern der Abscheidungsparameter verändert werden.
Vor der Ablagerung werden die Teile gereinigt, sodass die Oberfläche frei von Staub oder chemischen Verunreinigungen ist. Sobald der Beschichtungsprozess gestartet wurde, werden alle relevanten Prozessparameter kontinuierlich überwacht und von einem automatischen Computersteuerungssystem gesteuert.
• Substratmaterial: Glas, Metall (Kohlenstoffstahl, Edelstahl, Messing), Keramik, Kunststoff, Schmuck.
• Filmfarbe: Multi -Farben, Waffe Schwarz, Goldene Titan -Farbe, rosarge Goldene Farbe, Farbe aus Edelstahl, lila Farbe, dunkelschwarz, dunkelblau und andere weitere Farben.