Welche Faktoren beeinflussen die Beschichtungsleistung der Vakuumbeschichtungsmaschine?

Welche Faktoren beeinflussen die Beschichtungsleistung von Vakuumbeschichtungsmaschine ?

Wenn eine Vakuumbeschichtungsmaschine einen guten Film beschichten möchte, muss sichergestellt werden, dass sich viele Faktoren in einem normalen Zustand befinden, z. B. Vakuumbeschichtung, Basiszielabstand, Verdampfungstemperatur, Substrattemperatur, Restgasdruck und andere Faktoren. Es gibt eine Abweichung in einem bestimmten Faktor. Es beeinflusst die Leistung der Beschichtungsschicht der Vakuumbeschichtungsmaschine. Das Folgende ist ein Vakuum -Editor, der ausführlich erklärt, welche Faktoren die Beschichtungsleistung der Vakuumbeschichtungsmaschine beeinflussen. Ich hoffe es kann Ihnen helfen:

1. Verdunstungsrate

Die Größe der Verdunstungsrate hat einen großen Einfluss auf den abgelagerten Film. Da die durch die niedrige Abscheidungsrate gebildete Beschichtungsstruktur locker und leicht zu großen Partikeln abgelegt ist, um die Kompaktheit der Beschichtungsstruktur zu gewährleisten, ist es sehr sicher, eine höhere Verdunstungsrate zu wählen. Wenn der Druck des Restgases in der Vakuumkammer konstant ist, ist die Bombardierungsrate der Bombardierung des Substrats ein konstanter Wert. Nach der Auswahl einer höheren Abscheidungsrate wird das im abgelagerte Film enthaltene Restgas verringert, wodurch die chemische Reaktion zwischen den Restgasmolekülen und den Partikeln des verdampften Filmmaterials verringert wird. Daher kann die Reinheit des abgelagerten Films verbessert werden. Es ist zu beachten, dass die Ablagerungsrate, wenn sie zu hoch ist, den inneren Stress des Films erhöhen kann, was zu einer Zunahme der Fehler in der Filmschicht und sogar zu einer Knackung der Filmschicht in schweren Fällen führt. Insbesondere im Prozess der reaktiven Verdunstung kann eine niedrigere Abscheidungsrate ausgewählt werden, um das Reaktionsgas und die verdampften Filmmaterialpartikel ausreichend zu reagieren. Natürlich sollten unterschiedliche Verdunstungsraten für unterschiedliche Materialverdunstungen verwendet werden. Als praktisches Beispiel dafür, wie eine niedrige Ablagerungsrate die Leistung eines Films beeinflussen kann, ist die Ablagerung eines reflektierenden Films. Wenn die Filmdicke beispielsweise 600 x 10-8 cm beträgt und die Verdunstungszeit 3s beträgt, beträgt das Reflexionsvermögen 93%. Wenn die Verdunstungsrate jedoch unter derselben Filmdicke verlangsamt wird, dauert es 10 Minuten, um die Filmablagerung abzuschließen. Zu dieser Zeit ist die Dicke des Films gleich. Das Reflexionsvermögen ist jedoch auf 68%gesunken.

2. Substrattemperatur

Die Substratemperatur hat auch einen großen Einfluss auf die Verdunstungsbeschichtung. Restgasmoleküle, die an der Substratoberfläche bei hohen Substrattemperaturen adsorbiert werden, können leicht entfernt werden. Insbesondere der Ausschluss von Wasserdampfmolekülen ist wichtiger. Darüber hinaus ist es nicht nur einfach, den Übergang von der physikalischen Adsorption zur chemischen Adsorption bei einer höheren Temperatur zu fördern, wodurch die Bindungskraft zwischen Partikeln erhöht wird. Darüber hinaus kann der Unterschied zwischen der Rekristallisierungstemperatur der Dampfmoleküle und der Substratemperatur verringert werden, wodurch die interne Spannung der Film-Substrat-Grenzfläche verringert oder beseitigt wird. Da die Substrattemperatur mit dem kristallinen Zustand des Films zusammenhängt, werden amorphe oder mikrokristalline Beschichtungen unter niedrigen oder ohne Heizungsbedingungen auf dem Substrat tendenziell leicht gebildet. Umgekehrt ist es einfach, eine kristalline Beschichtung zu erzeugen, wenn die Temperatur höher ist. Die Erhöhung der Substratemperatur ist auch für die Verbesserung der mechanischen Eigenschaften der Beschichtung vorteilhaft. Natürlich sollte die Substrattemperatur nicht zu hoch sein, um die Neubewertung der verdampften Beschichtung zu verhindern.

3. Einfluss des Restgasdrucks in Vakuumkammer auf die Filmleistung

Der Druck des Restgases in der Vakuumkammer hat einen großen Einfluss auf die Membranleistung. Wenn der Druck zu hoch ist. Darüber hinaus wird ein übermäßiger Restgasdruck die Reinheit der Membran ernsthaft beeinflussen und die Leistung der Beschichtung verringern.

4. Die Auswirkung der Verdampfungstemperatur auf die Verdunstungsbeschichtung

Die Auswirkung der Verdampfungstemperatur auf die Filmleistung zeigt die Verdunstungsrate als Funktion der Temperatur. Wenn die Verdampftemperatur hoch ist, nimmt die Verdampfungswärme ab. Wenn das Filmmaterial über der Verdampfungstemperatur verdampft wird, kann selbst eine leichte Änderung der Temperatur zu einer schnellen Änderung der Verdunstungsrate des Filmmaterials führen. Daher ist es sehr wichtig, die Verdampfungstemperatur während der Ablagerung des Films genau zu kontrollieren, um einen großen Temperaturgradienten zu vermeiden, wenn die Verdunstungsquelle erhitzt wird. Für das Filmmaterial, das leicht zu erhaben ist, wird das Filmmaterial selbst als Heizung ausgewählt, und Maßnahmen wie Verdampfen sind ebenfalls sehr wichtig. .

Die obigen vier Aspekte sind die häufigen Faktoren, die die Leistung der Beschichtungsschicht der Vakuumbeschichtungsmaschine beeinflussen, und sie sind auch die konventionellen Einflussfaktoren. Während des Beschichtungsprozesses der Vakuumbeschichtungsmaschine ist es erforderlich, sicherzustellen, dass diese Faktoren in einem normalen Zustand liegen.