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Vakuumbeschichtungsmaschine Bezieht sich hauptsächlich auf eine Art von Beschichtung, die unter einem höheren Vakuum durchgeführt werden muss, einschließlich vieler Arten, einschließlich der Verdunstung des Vakuumwiderstands, Elektronenpistolenerwärmungsverdampfung, Magnetronsputter, MBE -Molekularstrahl -Epitaxie, Pld -Laser -Sputter -Ablagerung, Ion Es gibt viele Arten von Strahlsputter. Die Hauptidee ist in zwei Arten von Verdunstung und Sputtern unterteilt.
Betrieb
1. Schalten Sie die Wasserpumpe und die Luftquelle ein.
2. Schalten Sie die Hauptstromversorgung ein.
3. Einschalten der Stromversorgung der Wartungspumpe und des Vakuummessers, des Vakuummessers v1, warten Sie, bis der Wert weniger als 10 liegt, und geben Sie dann den nächsten Schritt ein. Es dauert ungefähr 5 Minuten.
4. Schalten Sie die mechanische Pumpe vor, vorpumpen Sie, schalten Sie die Leistung der Turbo-Molekülpumpe ein und starten Sie sie. Der Vakuum -Messschalter wird in die v2 -Position geändert. Es dauert ungefähr 20 Minuten, um auf weniger als 2 zu pumpen.
5. Nachdem beobachtet wurde, dass das Lesen der Turbomolekularen Pumpe 250 erreicht, schalten Sie die Vorpumpe aus und schalten Sie die Unterstützungspumpe und das hohe Vakuumventil ein, um weiter zu saugen. Nachdem das Vakuum ein bestimmtes Niveau erreicht hat, schalten Sie das hohe Vakuummesser am Recht ein, das Vakuum zu beobachten. Erst nachdem das Vakuum 2 × 10-3 erreicht hat, kann die Elektronenpistole eingeschaltet werden.
1. Schalten Sie die Wasserpumpe und die Luftquelle ein.
2. Schalten Sie die Hauptstromversorgung ein.
3. Einschalten der Stromversorgung der Wartungspumpe und des Vakuummessers, des Vakuummessers v1, warten Sie, bis der Wert weniger als 10 liegt, und geben Sie dann den nächsten Schritt ein. Es dauert ungefähr 5 Minuten.
4. Schalten Sie die mechanische Pumpe vor, vorpumpen Sie, schalten Sie die Leistung der Turbo-Molekülpumpe ein und starten Sie sie. Der Vakuum -Messschalter wird in die v2 -Position geändert. Es dauert ungefähr 20 Minuten, um auf weniger als 2 zu pumpen.
5. Nachdem beobachtet wurde, dass das Lesen der Turbomolekularen Pumpe 250 erreicht, schalten Sie die Vorpumpe aus und schalten Sie die Unterstützungspumpe und das hohe Vakuumventil ein, um weiter zu saugen. Nachdem das Vakuum ein bestimmtes Niveau erreicht hat, schalten Sie das hohe Vakuummesser am Recht ein, das Vakuum zu beobachten. Erst nachdem das Vakuum 2 × 10-3 erreicht hat, kann die Elektronenpistole eingeschaltet werden.
Def-6b-Betrieb
1. Gesamtleistung.
2. Schalten Sie die Elektronenpistolensteuerung ⅰ und Elektronenpistolensteuerung ein ⅱ Stromversorgung gleichzeitig: Drücken Sie die Elektronenpistole. Nach drei Minuten sind die Verzögerungs- und Schutzlichter ausgeschaltet. Wenn die Hintertür nicht geschlossen ist oder das Wasserflussrelais ausfällt, wird das Schutzlicht immer eingeschaltet.
3. Wenn die Hochspannung eingeschaltet ist, erreicht die Hochspannung mehr als 10 kV, der Strahlstrom kann auf etwa 200 mA eingestellt werden, das Vorhangnetz beträgt 20 V/100 mA, der Filamentstrom ist 1,2a und der Ablenkstrom zwischen 1 und 1,7.
Herunterfahrensequenz
1. Schalten Sie den hohen Vakuummesser und die molekulare Pumpe aus.
2. Wenn die molekulare Pumpenanzeige 50 erreicht, schalten Sie das Hochventil, die Frontstufe und die mechanische Pumpe nacheinander aus. Diese Zeit dauert ungefähr 40 Minuten.
3. Wenn es unter 50 ist, schalten Sie die Wartungspumpe erneut aus.
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