Was sind die Hauptkomponenten eines Vakuumbeschichtungssystems?

1. Vakuumkammer

Beschichtungsausrüstung Hauptsächlich hat zwei Formen: die Produktionslinie für kontinuierliche Beschichtung und eine Einkammerbeschichtungsmaschine, die Herstellung von Stahlmaterial, das Argon-Lichtbogenschweißen, die chemische Polierbehandlung mit Oberflächenchemikalien und verschiedene Spezifikationen der Flanschgrenzflächen werden an den Komponenten der Vakuumkammer geschweißt.

2, Vakuumakquisitionsteil

In der Vakuumtechnologie ist der Vakuumakquisitionsteil ein wichtiger Teil. Der Erwerb von Vakuum kann nicht durch eine einzelne Vakuumausrüstung und -methode erreicht werden. Mehrere Pumpen müssen in Kombination verwendet werden, wie z. B. mechanische Pumpen, Wurzelpumpen, molekulare Pumpensysteme usw.

3, Vakuummessungsteil

Der Vakuummessungsteil des Vakuumsystems besteht darin, den Druck in der Vakuumkammer zu messen. Wie eine Vakuumpumpe kann kein Vakuummessgerät den gesamten Vakuumbereich messen, sodass die Menschen viele Arten von Vakuummessgeräten nach verschiedenen Prinzipien und Anforderungen hergestellt haben. Wie Thermoelementmesser, Ionisationsmesser, Pirani -Messgerät usw.

4. Stromversorgungsteil

Die Zielstromversorgung umfasst hauptsächlich DC -Stromversorgung, Zwischenfrequenzleistung, Impulsnetzteil und Funkfrequenzleistung (RF). Zu den allgemeinen Herstellern der Stromversorgung gehören AE, ADL, Hotinger usw.

5. Prozessgaseingangssystem

Prozessgase wie Argon (AR), Krypton (KR), Stickstoff (N2), Acetylen (C2H2), Methan (CH4), Wasserstoff (H2), Sauerstoff (O2) usw. werden im Allgemeinen von Gaszylinder geliefert. Gasdruckreduzierungventil, Gasstoppventil, Rohrleitung, Gasströmungsmesser, Magnetventil, piezoelektrisches Ventil und dann in die Vakuumkammer. Der Vorteil dieses Gaseingangssystems besteht darin, dass die Pipeline einfach und klar ist und der Gaszylinder leicht zu reparieren oder zu ersetzen ist. Die Beschichtungsmaschinen betreffen sich nicht. Es gibt auch Fälle, in denen mehrere Beschichtungsgeräte eine Reihe von Gasflaschen teilen. Diese Situation kann in einigen groß angelegten Beschichtungsworkshops zu sehen sein. Sein Vorteil ist, dass es die Belegung von Gaszylinder, einheitlicher Planung und einheitliches Layout verringert. Der Nachteil besteht darin, dass aufgrund der Zunahme der Anzahl der Gelenke die Wahrscheinlichkeit von Luftlecks zunimmt. Darüber hinaus stören sich die Beschichtungsmaschinen gegenseitig, und die Pipeline einer Beschichtungsmaschine kann Luft auslaufen, was die Produktqualität anderer Beschichtungsgeräte beeinflussen kann. Darüber hinaus müssen beim Austausch von Gasflaschen sichergestellt werden, dass sich alle Maschinen in einem nicht-gas-Zustand befinden.

6. Mechanischer Übertragungsteil

Die Beschichtung erfordert, dass die Dicke der Peripherie einheitlich sein muss. Daher müssen drei Rotationen im Beschichtungsprozess vorhanden sein, um die Anforderungen zu erfüllen. Das heißt, während der große Werkstücktisch erforderlich ist, um sich zu drehen (i), dreht sich auch der kleine Werkstückträger (II), und das Werkstück selbst kann gleichzeitig (III) drehen. Im mechanischen Design befindet sich im Allgemeinen ein großes Fahrwerk in der Mitte des Bodens des großen Werkstücks, und einige kleine Sternräder. Wenn das Produkt gedreht werden soll, wird das Werkstück im Allgemeinen durch eine Schaltgabelung gedreht.

7, Heiz- und Temperaturmessungsteil

Beschichtungsgeräte haben im Allgemeinen Heizungen in verschiedenen Positionen, und Thermoelemente werden verwendet, um die Temperatur zu messen und zu steuern. Da sich die Thermoelement -Klemmposition jedoch von der Werkstückposition unterscheidet, kann der Temperaturwert nicht die wahre Temperatur des Werkstücks sein. Um die tatsächliche Temperatur des Werkstücks zu messen, gibt es viele Methoden. Sie können Hochtemperaturpapier oder Thermoelementmeter auf dem Werkstück installieren.

8. Ionenverdampfung und Sputterquelle

Die Verdampfungsquelle für die Überbearbeitung von Multi-ARC ist im Allgemeinen in Form eines runden Kuchens, der allgemein als runde Kuchenziel bezeichnet wird, und es gibt auch rechteckige Multi-ARC-Ziele. Ein Magnet ist in der Zielbasis installiert. Indem der Magnet hin und her bewegt wird, wird die Intensität des Magnetfeldes geändert und die Bewegungsgeschwindigkeit und die Flugbahn des Bogenflecks können eingestellt werden. Um die Temperatur des Ziels und der Zielbasis zu verringern, muss die Zielbasis kontinuierlich mit Kühlwasser geliefert werden. Um eine hohe elektrische und thermische Leitfähigkeit zwischen dem Ziel und der Zielbasis zu gewährleisten, kann auch zwischen dem Ziel und der Zielbasis eine Zinndichtung zugesetzt werden. Die Magnetron -Sputterbeschichtung verwendet im Allgemeinen rechteckige oder zylindrische Sputterkathen.

9, Wasserkühlsystem

besteht im Allgemeinen aus kaltem Wasserturm, Eiswassermaschine, Wasserpumpe usw.

10, Industrial Control System