Was sind die Gegenmaßnahmen zur Verbesserung der nachteiligen Reaktionen der Vakuumbeschichtung?- Ningbo Danko Vacuum Technology Co., Ltd.

Strategie verbessern:

Stärken Sie die Entfettungs- und DekontaminationsbehUndlung. Wenn es sich um eine Ultraschallreinigung handelt, sollte sich die Entfettungsfunktion auf die Wirksamkeit der Entfettungslösung konzentrieren. Wenn es von Hand ausgelöscht ist, sollten Sie mit Calciumcarbonatpulver abgewischen und dann wischen.

Stärken Sie das Backen vor dem Verpacken. Wenn die Bedingungen dies zulassen, ist es besser, dass die Substratemperatur 300 ° oder mehr erreichen kann, und die konstante Temperatur sollte mehr als 20 Minuten betragen, um den Wasserdampf und den Öldampf auf der Oberfläche des Substrats so weit wie möglich zu verflüchtigen. *HINWEIS: Je höher die Temperatur, desto größer ist die Adsorptionskapazität des Substrats auch einfach, Staub zu adsorbieren. Daher sollte die Sauberkeit der Vakuumkammer verbessert werden. Andernfalls hält Staub vor dem Verpacken das Substrat an, was die Stärke des Films zusätzlich zu anderen Defekten beeinflusst. (Die chemische Desorptionstemperatur des Wasserdampfes auf dem Substrat im Vakuum liegt über 260 ℃). Allerdings müssen nicht alle Teile bei hoher Temperatur gebacken werden, und einige Nitratmaterialien haben hohe Temperatur, aber die Filmfestigkeit ist nicht hoch, und es können Flecken auftreten. Dies hat eine stärkere Beziehung zu Stress und thermischem Material.

Wenn die Bedingungen dies zulassen, ist das Gerät mit einem Kondensator (Ploycold) ausgestattet, der nicht nur die Vakuumpumpengeschwindigkeit des Geräts erhöhen, sondern auch dazu beiträgt, Wasserdampf, Öl und Gas aus dem Substrat zu entfernen.

Erhöhen Sie den Vakuumgrad der Verdunstung. Für die Beschichtungsmaschine über 1 Meter sollte das Startvakuum der Verdunstung höher als 3*10-3Pa sein. Je größer die Beschichtungsmaschine ist, desto höher ist das Startvakuum der Verdunstung.

Wenn möglich, ist die Einheit mit einer Ionenquelle ausgestattet, die vor dem Plan bombardiert wird, reinigt die Oberfläche des Substrats und hilft den Beschichtungsprozess, der der Kompaktheit und Festigkeit des Films förderlich ist.

Um Feuchtigkeit aus dem Membranmaterial zu entfernen, legen Sie das Membranmaterial zum Trocknen in eine Petrischale in eine Vakuumkammer.

Halten Sie die Arbeitsumgebung trocken (einschließlich Objektivwischung, Arbeitsbereich des Regenschirms) und bringen Sie beim Reinigen der Arbeitsumgebung nicht zu viel Wasserdampf ein.

Für mehrschichtige Filme ist es bei der Gestaltung des Filmsystems erforderlich, die Anpassung des Films und des Substrats zu berücksichtigen und Al2O3-Filmmaterial so weit wie möglich zu verwenden, das eine gute Adsorptionskraft für Substrate hat. Für Metallfilme kann auch die Schicht der Cr- oder Cr -Legierung in Betracht gezogen werden. CR- oder CR -Legierungen haben auch eine bessere Adsorptionsleistung für das Substrat.

Verwenden Sie Polierflüssigkeit (Polierflüssigkeit), um die korrodierte Schicht (hydrolysierte Schicht) auf der Oberfläche der Linse zu rehabilitieren und zu entfernen

Manchmal ist eine ordnungsgemäße Verringerung der Verdunstungsrate hilfreich, um die Filmstärke zu erhöhen, und hat eine positive Bedeutung bei der Verbesserung der Glätte der Filmoberfläche.

Filmstress:

Der Filmbildungsprozess eines Dünnfilms ist ein Transformationsprozess der materiellen Form. Es ist unvermeidlich, dass nach der Filmbildung Stress in der Filmschicht auftreten wird. Für mehrschichtige Filme gibt es Kombinationen verschiedener Filmmaterialien, und die Spannungen, die sich in jeder Filmschicht widerspiegeln, gibt Unterschiede, einige sind Zugspannung, einige sind Druckspannung und es gibt thermische Belastungen des Films und des Substrats.

Die Existenz von Stress ist nachteilig auf die Stärke des Films. Der leichtere bedeutet, dass der Film der Reibung nicht widerstehen kann und der Schwere Risse oder dünne Netze im Film verursacht.

Bei Anti-Reflexionsfilmen ist der Stress aufgrund der geringen Anzahl von Schichten im Allgemeinen nicht offensichtlich. (Einige Nitratlinsen haben jedoch Stressprobleme, selbst wenn es sich um Anti-Reflexionsfilme handelt.) Für Hochbereitfilme und Filterfilme mit mehr Schichten ist der Stress ein häufiger unerwünschter Faktor, auf den besondere Aufmerksamkeit geschenkt werden sollte.

Strategie verbessern:

Backen Sie nach dem Übernehmen. Nachdem die letzte Filmschicht plattiert ist, hören Sie nicht sofort auf zu backen und setzen Sie sich 10 Minuten lang fort. Machen Sie die Filmstruktur stabiler.

Die Kühlzeit wird angemessen verlängert und das Glühen altern. Reduzieren Sie die thermische Spannung, die durch den übermäßigen Temperaturunterschied zwischen Inneren und außerhalb der Vakuumkammer verursacht wird.

Bei Filmen mit hoher Reflexion, Filterfilmen usw. während des Verdampfungsprozesses sollte die Substrattemperatur nicht zu hoch sein, da hohe Temperaturen wahrscheinlich thermische Belastungen verursachen. Und es wirkt sich negativ auf die optische Stabilität von Filmmaterialien wie Titanoxid und Tantaloxid aus.

Ionen helfen beim Beschichtungsprozess, um Stress zu reduzieren.

Wählen Sie das entsprechende Filmsystem, die Schicht des Filmmaterials und das Substrat -Match. (Zum Beispiel verwendet der fünfschichtige Anti-Reflexionsfilm AL2O3-ZRO2-AL2O3-AL2O3-ZRO2-MGF2; ZRO2 kann auch SV-5 (ein Zro2 TiO2 gemischtes Filmmaterial) oder andere gemischte Brechungsindexfilmmaterialien verwenden.

Reduzieren Sie die Verdunstungsrate angemessen (AL2O3-2.5A/S; ZRO2-3A/S; MGF2-6A/S Referenzrate)

Die Sauerstofffüllungsbeschichtung wird an allen Oxidfilmmaterialien durchgeführt, und die Sauerstoffgasaufnahmerate wird nach verschiedenen Filmmaterialien kontrolliert.

Oberflächenhärte des äußeren Films:

Der Anti-Reflexionsfilm verwendet im Allgemeinen MGF2 als äußere Schicht. Der Querschnitt des Films ist eine relativ lockere Säulenstruktur, und die Oberflächenhärte ist nicht hoch, so dass es leicht ist, die Straße abzuwischen.

Strategie verbessern:

Wenn das Design des Filmsystems zulässt, fügen Sie der Außenschicht etwa 10 nm SiO2 -Schicht hinzu, und die Oberflächenglattheit von Siliziumdioxid ist besser als die von Magnesiumfluorid (aber die Verschleißfestigkeit und die Härte von Siliziumdioxid sind nicht so gut wie Magnesiumfluorid). Nach ein paar Minuten Ionen -Bombardierung nach dem Schichten wird die Auswirkung der Festigkeit besser sein. (Aber die Oberfläche wird dicker)

Nachdem die Linse die Vakuumkammer verlässt, legen Sie sie an einem trockenen und sauberen Ort, um eine schnelle Feuchtigkeitsabsorption zu verhindern und die Oberflächenhärte zu verringern.

Andere

Die Gründe für die schlechte Filmstärke sind ein geringes Vakuum (anfällig für manuell kontrollierte Maschinen), schmutzige Vakuumkammer und unzureichende Substraterwärmung.

Wenn das Hilfsgas ausgefüllt wird, ist auch das Membranmaterial übertroffen, was den Vakuumgrad verringert, den molekularen freien Weg verringert und die Membranschicht nicht stark ist. Daher sollte die Füllung des Hilfsgases die Entgasung des Filmmaterials berücksichtigen, und das Filmmaterial ist vor dem Plan vollständig vorgefertigt und vollständig entgast, was auch die übermäßige Abnahme des Vakuumgrades aufgrund der Entgasung des Filmmaterials während der Verdunstung vermeiden kann, wodurch sich die Filmfestigkeit beeinträchtigt.

Den Film ausziehen

Obwohl die Filmveröffentlichung hier auch eine Art schwacher Film ist, hat er einige Unterschiede zu der vorherigen Filmveröffentlichung. Die Hauptmerkmale sind: Point Release, Edge Release und Partial Release.

Der Hauptgrund ist, dass es Schmutz oder Schadstoffe in der Membran gibt.

Verbesserungsmethode: Verbesserung der Sauberkeit des Substrats.

2007 als vorheriger Name Huahong Vakuumtechnologie gegründet, ist professionell China Optical Film Coating Machines Lieferanten Lieferanten and Optische Filmbeschichtungsmaschinen Lieferanten , einschließlich, aber nicht beschränkt auf Sputtersysteme, optische Beschichtungseinheiten, Batch-Metallisatoren, PVD-Systeme (Physical Dampor Deposition), Hart- und Verschleiß-resistenter Vakuumbeschichtungsabscheidungsauslagerungen, Glas, PE, PC-Substratbeschoßer, Roll-to-Roll-Maschinen zum Beschichten flexibler Substrate. Die Maschinen werden für eine breite Palette von Anwendungen verwendet, die unten (aber nicht beschränkt auf) Automobil-, Dekorations-, Hartbeschichtungs-, Werkzeug- und Metall-Schneidbeschichtungen und Dünnfilmbeschichtungsanwendungen für Industrie- und Laboratorien einschließlich Universitäten verwendet wurden. Unser Unternehmen konzentriert sich sehr auf den After-Sales-Service in nationalen und internationalen Märkten und bietet genaue Teilverarbeitungspläne und professionelle Lösungen, um Kundenbedürfnisse zu erfüllen.

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