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Vakuumverdampfung
Grundprinzipien
Die Vakuumverdampfung ist eine Methode zum Erhitzen der Rohstoffe zur Bildung von dünnen Filmen im Verdampfungsbehälter in Vakuumkammer, um Atome oder Moleküle aus der Oberfläche zu entfliehen und Dampffluss auf die Oberfläche von festem (als Substrat oder Substrat bezeichnet) zu bilden, um feste Filme zu kondensieren und festzustellen.
Die Gründe für strengere Anforderungen an die Vakuumverdunstung, insbesondere für die Vakuumumgebung, sind wie folgt:
Verhindern Sie Reaktionen aufgrund von Luftmolekülen und Verdunstung Medizinische Instrumentenbeschichtungsmaschinen Lieferanten Quellen bei hohen Temperaturen.
Verhindern, dass das Molekül der verdampften Substanz mit Luftmolekül in der Beschichtungskammer kollidiert.
Verhindern, dass Luftmoleküle als Verunreinigungen in Membranen oder Verbindungen in Membranen gemischt werden.
Ausrüstung: Vakuumbeschichtungskammer und Vakuumpumpensystem bestehen aus zwei Teilen. Die Vakuumbeschichtungskammer ist mit Verdampfungsquellen, Verdampfmaterialien, Substratklammern und Substraten ausgestattet.
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