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Die Membranmaschine ist derzeit die weit verbreitete Geräte für die Erstellung von Vakuumbedingungen. Seine verwandten Komponenten und Komponenten: mechanische Pumpe, Boosterpumpe, Öldiffusionspumpe, Kondensatpumpe, Vakuummesssystem.
Vakuumkörper-Vakuumkammern haben je nach verarbeiteten Produkten unterschiedliche Anforderungen, und die Größe der Vakuumkammer ist ebenfalls unterschiedlich. Gegenwärtig sind die weit verbreiteten verwendeten 1,3 m, 0,9 m, 1,5 m, 1,8 m usw. Die Kammer besteht aus Edelstahl, und die Anforderungen verrostet, fest, fest usw. Es gibt Verbindungsventile in jedem Teil der Vacuum -Kammer, mit denen jede Saugpumpe angeschlossen wird. Vakuumbeschichtungsmaschine
Hauptsächlich in 4 Teile, Vakuumeinheit, Vakuumbox, Verdunstungssystem, Steuerungssystem unterteilt.
Das Gerät kann unterteilt werden in: niedriges Vakuum, hohes Vakuum, Wurzelpumpeneinheit, Diffusionspumpeneinheit, molekulare Pumpeneinheit, Kryopump -Einheit usw.
Die Verdampfung ist unterteilt in: Elektronenstrahlverdampfung, Verdampfung des Widerstandserwärmes, Magnetron-Sputterverdampfung, Verdampfung mit Multi-ARC
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