Vakuumbeschichtungsmaschine für Magnetronsputter

Vakuumbeschichtungsmaschine für Magnetronsputter

Ein Magnetron-Sputter-Vakuumbeschichtungssystem verwendet energiereiche Ionen, um eine dünne Materialschicht auf ein Substrat abzulehnen. Der Prozess ist schnell und kostengünstig und erzeugt eine hohe Purity-Beschichtung. Mit energiereiche Ionen werden aus einem Quellmaterial freigesetzt und kollidieren mit einem inerten Gas wie Argon. Diese Ionen erzeugen ein Plasma und Atome des Ausgangsmaterials werden ausgeworfen.

Die Magnetron-Sputter-Vakuumbeschichtungsmaschine wird häufig bei der Herstellung von Schmuck verwendet. Die Rotations- und stationären Konstruktionen können leicht eingestellt werden, um eine Vielzahl von Beschichtungsanforderungen zu erfüllen. Diese Maschine eignet sich zum Beschichten von Metall- oder nicht-metallischem Substrat. Es kann auch verwendet werden, um Kunststoff, Keramik und Kristallglas zu beschichten. Zu den High-End-Merkmalen gehören gute Gleichmäßigkeit und schnelle Abscheidungsraten.

Ein Magnetron-Sputter-Vakuumbeschichtungssystem ist ein leistungsstarkes und vielseitiges Werkzeug für die Produktion mit hoher Volumen. Je nach Bedarf und Anwendung kann diese Technik dünne Filme mit einer Vielzahl von gewünschten Eigenschaften erzeugen. Verschiedene Stromversorgungssysteme, Materialien und Gase können verwendet werden, um den Prozess zu optimieren. Bevor der Prozess beginnt, wird das Substrat in den Halter montiert. Der Halter geht dann durch eine Lastverriegelungskammer, um zu verhindern, dass sich sie bewegt.

Dieses Vakuumbeschichtungssystem ist eine kostengünstige Methode, die hochwertige Beschichtungen mit hohem Prozentsatz der Passrate erzeugt. Es ist ideal für die Herstellung von Luftfahrt und High-End-Elektronik. Es kann auch für Legierungsbeschichtung und Verbundmetallfilme verwendet werden. Dies ist ein wirtschaftlicher und effektiver Weg, um viele Arten von Materialien zu beschichten.

Ein Magnetron -Sputter -Vakuumbeschichtungssystem verwendet eine Sputterquelle, die die Elektronenbeschränkung nutzt. Die Magnete fangen Elektronen auf der Oberfläche des Ziels ein, was zu einer höheren Plasma -Dichte und höheren Abscheidungsraten führt. Im Gegensatz zu herkömmlichen Sputtermethoden ist diese Technik sicher und verursacht keine Schädigung des Beschichtungsobjekts.

Das im Prozess verwendete Sputtergas ist eine wichtige Überlegung. Die zu verwendende Art des Gas hängt vom Atomgewicht des Substrats ab. Beispielsweise profitieren leichtere Materialien von der Verwendung von Neon oder Xenon. Wenn die Kammer Sauerstoff enthält, ist der Prozess reaktiv.

Der Sputterprozess umfasst das Aussetzen des Zielmaterials für reaktive Gase. Diese Gase reagieren mit dem Zielmaterial und erzeugen eine molekulare Verbindung. Das Material wird dann als dünne Filmbeschichtung abgelagert. Wenn beispielsweise ein Siliziumziel reaktiv mit Sauerstoff oder Stickstoff sputtern, erzeugt es Siliziumoxid oder Siliziumnitrid. Diese Methode wird häufig verwendet, um mehrere Materialien gleichzeitig zu beschichten.

Magnetron -Sputter -Beschichtungsmaschine

Multi-Arc-Ionen- und Sputterbeschichtungen können in einer Vielzahl von Farben abgelagert werden. Das Farbenbereich kann durch Einführung von reaktiven Gasen während des Abscheidungsprozesses weiter verbessert werden. Die weit verbreiteten reaktiven Gase für dekorative Beschichtungen sind Stickstoff, Sauerstoff, Argon oder Acetylen. Die dekorativen Beschichtungen werden je nach Metall-Gas-Verhältnis in der Beschichtung und der Struktur der Beschichtung in einem bestimmten Farbbereich hergestellt. Beide Faktoren können durch Ändern der Abscheidungsparameter verändert werden.

Vor der Ablagerung werden die Teile gereinigt, sodass die Oberfläche frei von Staub oder chemischen Verunreinigungen ist. Sobald der Beschichtungsprozess gestartet wurde, werden alle relevanten Prozessparameter kontinuierlich überwacht und von einem automatischen Computersteuerungssystem gesteuert.

• Substratmaterial: Glas, Metall (Kohlenstoffstahl, Edelstahl, Messing), Keramik, Kunststoff, Schmuck.

• Strukturart: Vertikale Struktur, #304 Edelstahl.

• Coating-Film: Multifunktionaler Metallfilm, zusammengesetzter Film, transparenter leitfähiger Film, Reflexionsvermögenssteigerungfilm, elektromagnetischer Schutzfilm, dekorativer Film.

• Filmfarbe: Multi -Farben, Waffe Schwarz, Goldene Titan -Farbe, rosarge Goldene Farbe, Farbe aus Edelstahl, lila Farbe, dunkelschwarz, dunkelblau und andere weitere Farben.

• Filmtyp: Zinn, Crn, ZRN, Ticn, Ticrn, Tinc, Tialn und DLC.

• Verbrauchsmaterialien in der Produktion: Titan, Chrom, Zirkonium, Eisen, Legierungsziel; Ebenenziel, zylindrisches Ziel, Doppelziel, entgegengesetztes Ziel.