Welche Faktoren beeinflussen die Beschichtungsleistung der Vakuumbeschichtungsmaschine?

Welche Faktoren beeinflussen die Beschichtungsleistung von Vakuumbeschichtungsmaschine ?

Wenn eine Vakuumbeschichtungsmaschine einen guten Film beschichten möchte, muss sie sicherstellen, dass viele Faktoren im Normalzustand sind, wie z. B. Vakuumbeschichtung, Basis-Target-Abstand, Verdampfungstemperatur, Substrattemperatur, Restgasdruck und andere Faktoren. Es gibt eine Abweichung in einem bestimmten Faktor. Dies wirkt sich auf die Leistung der Beschichtungsschicht der Vakuumbeschichtungsmaschine aus. Das Folgende ist ein Vakuumeditor, um im Detail zu erklären, welche Faktoren die Beschichtungsleistung der Vakuumbeschichtungsmaschine beeinflussen. Ich hoffe es kann dir helfen:

1. Verdampfungsrate

Die Größe der Verdampfungsrate hat einen großen Einfluss auf den abgeschiedenen Film. Da die durch die niedrige Abscheidungsrate gebildete Beschichtungsstruktur locker ist und sich leicht große Partikel abscheiden lassen, ist es sehr sicher, eine höhere Verdampfungsrate zu wählen, um die Kompaktheit der Beschichtungsstruktur sicherzustellen. Wenn der Druck des Restgases in der Vakuumkammer konstant ist, ist die Beschussrate des Beschusses des Substrats ein konstanter Wert. Daher wird nach Auswahl einer höheren Abscheidungsrate das in dem abgeschiedenen Film enthaltene Restgas reduziert, wodurch die chemische Reaktion zwischen den Restgasmolekülen und den Partikeln des verdampften Filmmaterials reduziert wird. Daher kann die Reinheit des abgeschiedenen Films verbessert werden. Es sollte beachtet werden, dass eine zu hohe Abscheidungsrate die innere Spannung des Films erhöhen kann, was zu einer Zunahme von Defekten in der Filmschicht und in schweren Fällen sogar zum Reißen der Filmschicht führt. Insbesondere beim reaktiven Verdampfen kann eine niedrigere Abscheidungsrate gewählt werden, um eine ausreichende Reaktion des Reaktionsgases und der verdampften Schichtmaterialpartikel zu ermöglichen. Natürlich sollten für unterschiedliche Materialverdampfungen unterschiedliche Verdampfungsraten verwendet werden. Ein praktisches Beispiel dafür, wie eine niedrige Abscheidungsrate die Leistung eines Films beeinflussen kann, ist die Abscheidung eines reflektierenden Films. Wenn beispielsweise die Filmdicke 600 × 10 –8 cm beträgt und die Verdampfungszeit 3 ​​s beträgt, beträgt das Reflexionsvermögen 93 %. Wenn jedoch die Verdampfungsrate bei gleicher Filmdicke verlangsamt wird, dauert es 10 min, um die Filmabscheidung abzuschließen. Zu diesem Zeitpunkt ist die Dicke des Films gleich. Das Reflexionsvermögen ist jedoch auf 68 % gesunken.

2. Substrattemperatur

Die Substrattemperatur hat auch einen großen Einfluss auf die Aufdampfbeschichtung. Bei hohen Substrattemperaturen an der Substratoberfläche adsorbierte Restgasmoleküle werden leicht entfernt. Insbesondere der Ausschluss von Wasserdampfmolekülen ist wichtiger. Darüber hinaus ist es nicht nur einfach, den Übergang von physikalischer Adsorption zu chemischer Adsorption bei einer höheren Temperatur zu fördern, wodurch die Bindungskraft zwischen Partikeln erhöht wird. Darüber hinaus kann die Differenz zwischen der Rekristallisationstemperatur der Dampfmoleküle und der Substrattemperatur verringert werden, wodurch die innere Spannung an der Film-Substrat-Grenzfläche verringert oder eliminiert wird. Da außerdem die Substrattemperatur mit dem kristallinen Zustand des Films in Beziehung steht, neigen amorphe oder mikrokristalline Beschichtungen dazu, leicht unter niedrigen oder keinen Heizbedingungen auf dem Substrat gebildet zu werden. Umgekehrt, wenn die Temperatur höher ist, ist es einfach, eine kristalline Beschichtung zu erzeugen. Eine Erhöhung der Substrattemperatur ist auch vorteilhaft für die Verbesserung der mechanischen Eigenschaften der Beschichtung. Natürlich sollte die Substrattemperatur nicht zu hoch sein, um ein Wiederverdampfen der aufgedampften Beschichtung zu verhindern.

3. Einfluss des Restgasdrucks in der Vakuumkammer auf die Filmleistung

Der Druck des Restgases in der Vakuumkammer hat einen großen Einfluss auf die Membranleistung. Wenn der Druck zu hoch ist, können die Restgasmoleküle nicht nur leicht mit den verdampften Partikeln kollidieren, so dass die kinetische Energie der auf das Substrat schießenden Personen verringert wird, was die Haftung der Folie beeinträchtigt. Darüber hinaus wird ein übermäßiger Restgasdruck die Reinheit der Membran ernsthaft beeinträchtigen und die Leistung der Beschichtung verringern.

4. Die Auswirkung der Verdampfungstemperatur auf die Verdampfungsbeschichtung

Die Auswirkung der Verdampfungstemperatur auf die Filmleistung wird durch die Verdampfungsrate als Funktion der Temperatur gezeigt. Wenn die Verdampfungstemperatur hoch ist, nimmt die Verdampfungswärme ab. Wenn das Folienmaterial oberhalb der Verdampfungstemperatur verdampft wird, kann bereits eine geringfügige Temperaturänderung eine schnelle Änderung der Verdampfungsrate des Folienmaterials bewirken. Daher ist es sehr wichtig, die Verdampfungstemperatur während der Abscheidung des Films genau zu steuern, um einen großen Temperaturgradienten zu vermeiden, wenn die Verdampfungsquelle erhitzt wird. Für das leicht zu sublimierende Folienmaterial wird das Folienmaterial selbst als Heizung gewählt, und auch Maßnahmen wie Verdunstung sind sehr wichtig. .

Die obigen vier Aspekte sind die häufigsten Faktoren, die die Leistung der Beschichtungsschicht der Vakuumbeschichtungsmaschine beeinflussen, und sie sind auch die herkömmlichsten Einflussfaktoren. Während des Beschichtungsprozesses der Vakuumbeschichtungsmaschine muss sichergestellt werden, dass sich diese Faktoren in einem normalen Zustand befinden.