Wie kann man die Ungleichmäßigkeit von Magnetron-Sputterfilmen lösen?

Die Gleichmäßigkeit und Richtung des Magnetfeldes sollte sichergestellt werden, dass ein relativ gleichmäßiges Raummagnetfeld bildet.

Zweitens sollte die Gleichmäßigkeit des Luftdrucks so weit wie möglich sichergestellt werden. Beim Entwerfen der Vakuumkammer die Installationsposition der Vakuumpumpe, der Weg Verdunstungsvakuumbeschichtungsmaschinenfabrik Von der Verfahrensgasaufnahme und der Layout des Prozessrohrs in der Kammer sollten berücksichtigt werden.

Drittens kann das Magnetfeld durch die Ungleichmäßigkeit des Luftdrucks auskompensiert werden, um die endgültige Filmuniform zu machen, da das Magnetfeld und der Luftdruck nicht absolut ideal sein können.

Viertens ist die Zielbasisabstand auch ein wichtiger Faktor, der die Gleichmäßigkeit beeinflusst.

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