Wie wird die Elektronenkanone der optischen Beschichtungsmaschine gewartet und installiert?

Das optische Beschichtungsmaschine besteht hauptsächlich aus einem Vakuumbeschichtungsmaschinenraum, einem Vakuumabsauger und einem Schaltschrank (Schaltschrank für die Steuerung, Schaltschrank für Elektronenkanonen) und wird in der Mikroelektronik, der optischen Filmbildung, der Baudekoration, der Oberflächentechnik und underen Bereichen eingesetzt. Das Arbeitsprinzip optischer Beschichtungsgeräte besteht darin, metallische oder nichtmetallische Materialien unter Hochvakuum mit Elektronenstrahlen auf eine geeignete Temperatur zu erhitzen und dann zu Dampfmolekülen zu verdampfen. Die mittlere freie Weglänge ist größer als der Abstand von der Verdampfungsquelle zum zu bedampfenden Substrat. Die verdampften Dampfmoleküle werden in alle Richtungen geleitet und auf der Oberfläche des Substrats abgeschieden, um einen dünnen Film zu bilden. Lassen Sie mich über die Installations- und Wartungsmethoden der Elektronenkanone sprechen:
Das Stromversorgungssteuersystem für die Elektronenkanone besteht aus einer Glühfadenstromversorgung, einer Hochspannungsstromversorgung, einer Abtaststromversorgung, einer Tiegelantriebsstromversorgung, einer Verdampfungsstromversorgung und so weiter.
Die Elektronenkanone steuert die Hochspannung im Schaltschrank. Der normale Betrieb jeder Verriegelungsvorrichtung der Schranktür ist vor der Arbeit erforderlich. Laien dürfen die Schaltschranktür nicht öffnen. Beim Arbeiten darf die Elektronenkanone die Schaltschranktür nicht öffnen. Der Schaltschrank der gesamten optischen Beschichtungsmaschine muss gut geerdet und mit der Maschinenerdung verbunden sein.
Die Dampfquelle der Elektronenkanone ist auf der Bodenplatte der Vakuumkammer installiert und muss eine gute Erdungswirkung mit der Bodenplatte haben. Die Installation der Dampfquelle muss mit Edelstahlschrauben befestigt werden, und im Umkreis von 200 mm darf sich kein magnetisches Material befinden, da dies sonst den Lichtpunkt der Elektronenkanone beeinträchtigt und eine schlechte elektronische Leistung verursacht. Das Leitblech der Elektronenkanone sollte möglichst 30 mm über der Mitte des Verdampfungsquellentiegels installiert werden, um die Emission des Elektronenstrahls nicht zu beeinträchtigen.
Die Dampfquelle der Elektronenkanone ist ein präzisionsgefertigter Körper, und beim Arbeiten ist gutes Kühlwasser erforderlich. Eine zu hohe Temperatur beeinträchtigt die Bildung des Elektronenstrahls und die Leistung jedes Dichtungsrings.
(1) Elektronischer Pistolenkopf
Die Installation des Pistolenkopfes wirkt sich direkt auf den normalen Betrieb der Pistole aus. 90 % der Ausfälle hängen mit der Pistolenspitze zusammen.
Nachdem die Spitze eine gewisse Zeit lang verwendet wurde, beeinträchtigt sie aufgrund der Kontamination der Komponenten die Bildung und Leistung des Elektronenstrahls, sodass sie zerlegt und gereinigt werden muss.
(2) Wartung des Tiegels
Bevor Sie den Tiegel zerlegen, schließen Sie bitte den Wasserkreislauf und blasen Sie das Wasser im Kühlrohr der Elektronenkanone mit Druckluft sauber.
(3) Wartung der magnetisch leitenden Platte und des Abtastrings
Die Führungsplatte und der Permanentmagnet der optischen Beschichtungsmaschine müssen nicht häufig demontiert und gewartet werden. Bei einer Demontage achten Sie bitte auf die Polaritätsrichtung des Permanentmagneten und die Richtung der Führungsplatte. Da der Installationsraum der Spule dicht ist, hebeln Sie bitte nicht mit scharfen Gegenständen, da dies sonst zu Schäden führen kann.

Gegründet im Jahr 2007 als früherer Name Huahong Vacuum Technology, ist professionell China Optische Filmbeschichtungsmaschinen Lieferanten and Lieferanten von optischen Filmbeschichtungsmaschinen , einschließlich, aber nicht beschränkt auf Sputtersysteme, optische Beschichtungsanlagen, Batch-Metallisierer, PVD-Systeme (Physical Vapour Deposition), Anlagen zur Abscheidung harter und verschleißfester Vakuumbeschichtungen, Glas-, PE-, PC-Substratbeschichter, Rolle-zu-Rolle-Maschinen zur Beschichtung von flexiblen Materialien Substrate. Die Maschinen werden für eine breite Palette von unten beschriebenen Anwendungen verwendet (aber nicht beschränkt auf): Automobil-, Dekorations-, Hartbeschichtungen, Werkzeug- und Metallschneidebeschichtungen und Dünnfilmbeschichtungsanwendungen für Industrie und Labore, einschließlich Universitäten. Danko Vacuum Technology Company Ltd ist engagiert unsere Marktgrenzen zu erweitern, indem wir hochwertige, leistungsstarke und Großhandelspreise für optische Filmbeschichtungsmaschinen anbieten. Unser Unternehmen konzentriert sich stark auf den Kundendienst auf nationalen und internationalen Märkten und bietet genaue Teilverarbeitungspläne und professionelle Lösungen, um die Kundenanforderungen zu erfüllen.