Diamond-ähnliche Carbon (DLC) PVD-Beschichtungen

Diamond-ähnliche Kohlenstoffbeschichtungen (DLC) sind ein besonderes Fachgebiet für Richter Precision Inc. unter PVD- und PACVD-Beschichtungskompositionen und -Technologie. Diese Beschichtungen weisen eine wünschenswerte Kombination eines geringen Reibungskoeffizienten und einer hohen Mikrohattheit auf, was sie in vielen tribologischen und Verschleißanwendungen wirksam macht.

DLC-Beschichtungen werden gebildet, wenn ionisierte und zersetzte Kohlenstoff- oder Kohlenwasserstoffspezies auf der Oberfläche eines Substrats mit Energie typischerweise 10-300EV landen. DLC -Filme können außergewöhnliche mechanische (hohe Härte), optische (hohe optische Bandlücke), elektrischer (hoher elektrischer Widerstand), Chemikalie (inerte) und tribologische (niedrige Reibung und Verschleißkoeffizient) besitzen und bei niedrigen Substrattemperaturen (~ 200 ° C) abgelagert werden.

DLC -Filme sind im Allgemeinen amorph (d.h. Kontrolle des Films DLC -Beschichtungsmaschine Die Eigenschaften hängen stark von den Flusseigenschaften der ausgewählten Abscheidungstechnik (PVD-Sputter oder Verdunstung und PA-CVD), dem Metall- und Wasserstoffgehalt innerhalb des Films, des SP2: SP3-Verhältnisses, der Substratvorspannung, der Ionenenergie und der Ionendichte sowie der Substratemperatur ab. Der DLC-Film-Reibungskoeffizient gegen Stahl liegt im Allgemeinen zwischen 0,05 und 0,20, während Filmhärte und SP3-Gehalt auf bestimmte Anwendungen zugeschnitten werden können. Metall und Wasserstoff, die DLC (ME-DLC oder A-C: H: H: ME) enthalten, zeigen Härte im Bereich von 500-2000 HV mit 35% SP3, metallfreiem DLC (C-DLC oder A-C: H) typischerweise 1500-4000HV und bis zu 75% SP3, WHILST TETRADRAL AMORPHOUS (TA-C) können sein.

Richter Precision Inc. bietet einen kompletten Bereich von DLC -Phasenzusammensetzungen und damit den größten Bereich der ausgewählbaren mechanischen und physikalischen Eigenschaften. Die Eigenschaften der Tools und/oder Anwendung bestimmen, welche DLC -Beschichtungsstruktur am besten geeignet ist. In der folgenden Tabelle finden Sie eine vollständige Auflistung unserer verfügbaren DLC -Beschichtungskompositionen.