DIAMOND-LIKE CARBON (DLC) PVD-BESCHICHTUNGEN

Diamond-Like-Carbon (DLC)-Beschichtungen sind ein besonderes Fachgebiet von Richter Precision Inc. Unter den PVD- und PaCVD-Beschichtungszusammensetzungen und -technologien heben sich DLC-Beschichtungen als besondere Kategorie hervor. Diese Beschichtungen weisen eine wünschenswerte Kombination aus einem niedrigen Reibungskoeffizienten und einer hohen Mikrohärte auf, wodurch sie in vielen tribologischen und Verschleißanwendungen äußerst effektiv sind.

DLC-Beschichtungen werden gebildet, wenn ionisierte und zersetzte Kohlenstoff- oder Kohlenwasserstoffspezies mit einer Energie von typischerweise 10–300 eV auf der Oberfläche eines Substrats landen. DLC-Schichten können außergewöhnliche mechanische (hohe Härte), optische (hohe optische Bandlücke), elektrische (hoher elektrischer Widerstand), chemische (träge) und tribologische (niedriger Reibungs- und Verschleißkoeffizient) Eigenschaften besitzen und können bei niedrigen Substrattemperaturen (~ 200 Grad).

DLC-Filme sind im Allgemeinen amorph (d. h. haben keine dominante kristalline Gitterstruktur) und bestehen aus einer Mischung von sp2- (Graphit) und sp3-Phasen (Diamant). Kontrolle des Films DLC-Beschichtungsmaschine Die Eigenschaften hängen stark von den Flusseigenschaften der gewählten Abscheidungstechnik (PVD-Sputtern oder -Verdampfung und Pa-CVD), dem Metall- und Wasserstoffgehalt innerhalb des Films, dem sp2:sp3-Verhältnis, der Substratvorspannung, der Ionenenergie und -dichte sowie dem Substrat ab Temperatur. Der Reibungskoeffizient des DLC-Films gegenüber Stahl liegt im Allgemeinen zwischen 0,05 und 0,20, während die Filmhärte und der sp3-Gehalt für bestimmte Anwendungen maßgeschneidert werden können. Metall- und wasserstoffhaltiges DLC (Me-DLC oder a-C:H:Me) weist eine Härte im Bereich von 500–2000 HV mit 35 % sp3 auf, metallfreies DLC (C-DLC oder a-C:H) typischerweise 1500–4000 HV und bis zu 75 % sp3, während tetraedrischer amorpher Kohlenstoff (ta-C) 4000–9000 HV mit 80–85 % sp3 haben kann.

Richter Precision Inc. bietet ein komplettes Sortiment an DLC-Phasenzusammensetzungen und damit das größtmögliche Spektrum an wählbaren mechanischen und physikalischen Eigenschaften. Die Eigenschaften der Werkzeuge und/oder der Anwendung bestimmen, welche DLC-Beschichtungsstruktur am besten geeignet ist. In der folgenden Tabelle finden Sie eine vollständige Liste unserer verfügbaren DLC-Beschichtungszusammensetzungen.