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- Vakuumbereiche: Die Vakuumregion ist ungefähr wie folgt aufgeteilt:
Pa Torr
Niedriges Vakuum: 10 5 ～ 10 2 760 ～ 1
Mittleres Vakuum: 10 2 ～ 10 -1 1 ～ 10 -3
Hoches Vakuum: 10 -1 ～ 10 -5 10 -3 ～ 10 -7
Ultrahohe Vakuum: <10 -5 <10 -7
- Gas: Substanzen, die frei zu einem Platz einnehmen können und nicht intermolekulare Wechselwirkungen unterliegen. HINWEIS: In der Vakuumtechnologie wird der Begriff "Gas" nicht streng auf nicht kondensierbare Gase und Dampf angewendet.
- N ， M-3-Zahlendichte von Molekülen: Im Moment, die China PVD Plattiermaschinen Lieferanten Die Anzahl der Moleküle im Volumen um einen Punkt im Gas wird durch dieses Volumen geteilt.
- ι 、 λ ， m mittlere freie Pfad: Die Entfernung, die ein Molekül alle zwei aufeinanderfolgenden Kollisionen mit anderen gasförmigen Molekülen bewegt, wird als freier Weg bezeichnet. Der Durchschnitt einer Vielzahl verschiedener freier Pfade wird als durchschnittlicher freier Weg bezeichnet.
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