Häufige Vakuum -Leck -Erkennungsmethoden

Leckerkennung durch Heliummassenspektrometrie

Diese Technologie ist eine unverzichtbare Technologie im Bereich der Erkennung von Vakuumlecks. Es wird aufgrund seiner hohen Leckerkennungseffizienz, des einfachen Betrieb China PVD -Beschichtungssystem Lieferanten leicht durch andere Gase gestört. Der Helium -Mass -Spektrometer -Leckdetektor ist eine Art von Gasdichtungsdetektionsinstrument, das auf dem Massenspektrometrieprinzip basiert und Helium als Leckindikatorgas verwendet. Es besteht aus einer Ionenquelle, einem Analysator, einem Kollektor, einer kalten Kathoden -Ionisationsanzeige, einer Massenspektrometriekammer, einem Abgassystem und einem elektrischen Teil. Elektronen, die aus dem Filament in der Massenspektrometriekammer emittiert werden, schwingen im Raum hin und her und kollidieren mit dem Innengas und dem Helium, die durch das undichte Loch in den Raum eindringen, um in positive Ionen zu ionisieren. Diese Heliumionen betreten das Magnetfeld unter dem linken und rechten Gehirn des beschleunigten elektrischen Feldes und lenken aufgrund der Wirkung der Lorentz -Kraft ab, wodurch eine kreisförmige Bogenumlaufbahn bildet und das beschleunigte elektrische Feld geändert wird. Der Druck ermöglicht es, Ionen unterschiedlicher Masse zu erkennen, indem der Empfangspol durch Magnetfelder und Slots erhalten wird. Helium -Injektionsmethode und Heliumabsorptionsmethode sind die beiden häufig verwendeten Methoden zum Nachweis des Heliummassenspektrometers.