Allgemein bekanntes Kenntnis des Vakuumbeschichtungsmagnetronspottens- Ningbo Danko Vacuum Technology Co., Ltd.

Allgemein bekanntes Kenntnis des Vakuumbeschichtungsmagnetronspottens

DC Magnetronsputter , HF -Magnetron -Sputter, gepulste Magnetron -Sputter und mittelfre2quenz -Magnetron -Sputter

Reaktives Sputter besteht darin, einen bestimmten Anteil an Reaktivgas in die inerte Gasatmosphäre im Sputtersystem einzuführen. Normalerweise sind die Hauptreaktivgase Sauerstoff und Stickstoff.

Die DC -Sputtermethode wird bei Sputter- und reaktiven Sputterbeschichtung verwendet, wobei das Sputtermaterial ein leitendes Material ist und die Prozessausrüstung einfach ist und eine hohe Sputterrate aufweist.

In einem einzelnen Kathodenzielsystem weist die mittlere AC -Magnetron -Sputter -Sputter- und Bogenpräventionseffekte wie Puls -Magnetron -Spotterung den gleichen Ladungsfreisetz auf. Die mittelfrequente Wechselstrom -Sputter -Technologie wird auch auf das Twin -Target (TWIN2MAG) -Sputtersystem angewendet. Mit dem Sputter der mittleren Frequenz -AC -Zwilling -Ziel wird die beiden Ausgangsenden der mittleren Frequenz -Wechselstromversorgung mit den jeweiligen Kathoden des geschlossenen Magnetfeldes unausgeglichenes Sputter -Doppelziel angeschlossen. Daher werden wechselnde Spannungen mit entgegengesetzten Phasen an den doppelten Zielen erhalten, und ein Paar von Magnetron -Sputterzielen werden abwechselnd Katodes und Anoden.

Die Twin -Target -Sputtertechnologie verbessert die Stabilität des Magnetron -Sputter -Vorgangs erheblich, wodurch die Ansammlung von Ladungen auf der vergifteten Zieloberfläche vermieden wird, wodurch das Problem der Bogenzündung auf der Zieloberfläche und das Verschwinden der Anode verursacht wird. Legen Sie den Grundstein für die Massenproduktion.

Magnetron -Sputter -Beschichtungsmaschine

Multi-Arc-Ionen- und Sputterbeschichtungen können in einer Vielzahl von Farben abgelagert werden. Das Farbenbereich kann durch Einführung von reaktiven Gasen während des Abscheidungsprozesses weiter verbessert werden. Die weit verbreiteten reaktiven Gase für dekorative Beschichtungen sind Stickstoff, Sauerstoff, Argon oder Acetylen. Die dekorativen Beschichtungen werden je nach Metall-Gas-Verhältnis in der Beschichtung und der Struktur der Beschichtung in einem bestimmten Farbbereich hergestellt. Beide Faktoren können durch Ändern der Abscheidungsparameter verändert werden.

Vor der Ablagerung werden die Teile gereinigt, sodass die Oberfläche frei von Staub oder chemischen Verunreinigungen ist. Sobald der Beschichtungsprozess gestartet wurde, werden alle relevanten Prozessparameter kontinuierlich überwacht und von einem automatischen Computersteuerungssystem gesteuert.

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