Reinigungsmethode und Aufrechterhaltung der optischen Vakuumbeschichtungsmaschine
Reinigung und Wartung der optischen Vakuumbeschichtungsmaschine ist ein sehr wichtiger Teil des Betriebsprozesses. Der Wartungs- und Reinigungsprozess wird gut durchgeführt, was direkt die Glätte des Beschichtungsprozesses und die Verbesserung der Produktionskapazität bestimmt. Wie man die Maschine täglich reinigt und pflegt.
Die optische Vakuumbeschichtungsmaschine arbeitet in drei Schichten und wird für etwa eine Woche verwendet. Da das Beschichtmaterial nicht auf der Oberfläche des Werkstücks plattiert ist, kann es aufgrund seiner Nichtorientierung auf der Auskleidungsplatte im Studio überzogen werden. Je dicker die Beschichtung ist, desto dicker ist der Film. Die Organisation und Wicklung sind locker und es wird eine große Menge Gas absorbiert, wodurch die Vakuumbeschichtungsausrüstung immer langsamer pumpt. Zu diesem Zeitpunkt sollten das Studio und das Auskleidungsbrett gereinigt werden. Wenn unnötige Teile entfernt werden, können sie mit Sandpapier gereinigt werden. Die Auskleidungsplatte kann in einer wässrigen Lösung von Hydrofluorsäure eingeweicht werden. Das Verhältnis von Hydrofluorsäure und Wasser hängt von der Länge der Einweichenzeit und dem Prinzip ab, die Auskleidung nicht zu verletzen.
Die Prämisse ist, dass das Auskleidungsbrett vor der Installation mit Wasser getrocknet werden muss. Vor dem Trocknen sollte die Feuchtigkeit des Auskleidungsbretts so weit wie möglich trocken abgewischt werden. Nach dem Reinigen des Arbeitsrahmens und anderer Teile mit Sandpapier muss der gesamte Staub in der Vakuumkammer gereinigt werden, was mit einem Staubsauger gereinigt werden kann. Wenn der Liner endgültig installiert ist, müssen sowohl die Vakuumkammer als auch der Liner mit Alkohol sauber gereinigt werden. Aufgrund der Verwendung von Elektronenpistolen und Ionenquellen zur Unterstützung der Beschichtung kann es schwierig sein, zu reinigen, und Methoden wie Sandstrahlen können zum Reinigen verwendet werden.
Die optische Beschichtungsmaschine muss das Öl der Diffusionspumpe regelmäßig ersetzen. Das Öl der Diffusionspumpe wird für einen bestimmten Zeitraum, etwa zwei Monate (zwei Schichten), verwendet. Aufgrund der langfristigen Umgebung mit hoher Temperatur, obwohl die Diffusionspumpe nur dann aktiviert ist, wenn das Vakuum relativ hoch ist, gibt es immer noch Restsauerstoff und andere Komponenten. Es reagiert mit dem Öl der Diffusionspumpe, und das Öl der Diffusionspumpe kann auch bei hoher Temperatur knacken, wodurch die Qualität verringert und die Pumpenzeit verlängert wird. Es sollte ersetzt werden, wenn es unserer Meinung nach zu weit verlängert wurde.
Mechanische Pumpenöl- und Wartungspumpenöl werden zwei Monate lang verwendet, und die Ölqualität wird sich ändern. Da das Öl in Wasser, Verunreinigungen und andere Gründe gesaugt werden kann, verschlechtert sich die Viskosität des gebrauchten Öls und das Vakuum sinkt, sodass es ersetzt werden muss. Wenn es sich um eine neue Ausrüstung handelt, sollte es im halben Monat des Gebrauchs ersetzt werden, da das Öl während der Laufzeit viel Einlaufpulver enthält, was den Verschleiß verschlimmert.
Behalten Sie regelmäßig die sanitäre Einrichtungen der optischen Vakuumbeschichtungsmaschine und seiner Umgebung bei, halten Sie das Innere und außerhalb der Geräte sauber, organisieren Sie die Umgebung der Geräte ordentlich und verfügen über eine gute Arbeitsumgebung, um die Sicherheit zu gewährleisten.
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