Was sind die Schritte zur Verwendung der Vakuumbeschichtungsmaschine?

Vakuumbeschichtungsmaschine bezieht sich hauptsächlich auf eine Art der Beschichtung, die unter einem höheren Vakuum durchgeführt werden muss, einschließlich vieler Arten, einschließlich Vakuum-Widerstandsheizungsverdampfung, Elektronenkanonenheizungsverdampfung, Magnetron-Sputtern, MBE-Molekularstrahlepitaxie, PLD-Laser-Sputtering-Abscheidung, Ionen Es gibt viele Arten des Strahlsputterns. Die Hauptidee ist in zwei Arten von Verdampfung und Sputtern unterteilt.

Elektrischer Schaltschrankbetrieb
1. Schalten Sie die Wasserpumpe und die Luftquelle ein.
2. Schalten Sie die Hauptstromversorgung ein.
3. Schalten Sie die Stromversorgung der Wartungspumpe und des Vakuummeters ein, positionieren Sie das Vakuummeter V1, warten Sie, bis der Wert kleiner als 10 ist, und gehen Sie dann zum nächsten Schritt. Es dauert ungefähr 5 Minuten.
4. Schalten Sie die mechanische Pumpe ein, pumpen Sie vor, schalten Sie die Stromversorgung der Turbomolekularpumpe ein und starten Sie sie. Der Schalter des Vakuummeters wird auf die Position V2 umgestellt. Es dauert ungefähr 20 Minuten, um auf weniger als 2 abzupumpen.
5. Nachdem Sie beobachtet haben, dass der Messwert der Turbomolekularpumpe 250 erreicht, schalten Sie die Vorpumpe aus, schalten Sie die Vorpumpe und das Hochvakuumventil ein, um mit dem Vakuumieren fortzufahren. Nachdem das Vakuum ein bestimmtes Niveau erreicht hat, schalten Sie das Hochvakuummeter rechts ein, um das Vakuum zu beobachten. Erst nachdem das Vakuum 2 × 10 –3 erreicht hat, kann die Stromversorgung der Elektronenkanone eingeschaltet werden.

DEF-6B-Betrieb
1. Gesamtstromversorgung.
2. Schalten Sie die Elektronenkanonensteuerung Ⅰ und die Stromversorgung der Elektronenkanonensteuerung Ⅱ gleichzeitig ein: Drücken Sie die Stromversorgung der Elektronenkanonensteuerung Ⅰ, den Verzögerungsschalter, die Verzögerung, die Stromversorgung und die Schutzleuchten sind eingeschaltet. Nach drei Minuten erlöschen die Verzögerungs- und Schutzleuchten. Wenn die Hintertür nicht geschlossen ist oder das Wasserdurchflussrelais einen Fehler hat, leuchtet die Schutzleuchte immer.
3. Wenn die Hochspannung eingeschaltet wird, erreicht die Hochspannung mehr als 10 kV, der Strahlstrom kann auf etwa 200 mA eingestellt werden, das Vorhanggitter beträgt 20 V / 100 mA, der Heizstrom beträgt 1,2 A und der Ablenkstrom schwingt zwischen 1 und 1.7.

Abschaltsequenz
1. Schalten Sie das Hochvakuummeter und die Molekularpumpe aus.
2. Wenn die Anzeige der Molekularpumpe 50 erreicht, schalten Sie nacheinander das Hochventil, die vordere Stufe und die mechanische Pumpe aus. Dieser Zeitraum dauert etwa 40 Minuten.
3. Wenn es unter 50 ist, schalten Sie die Wartungspumpe wieder aus.