1. Vakuumkammer
Beschichtungsanlagen hat hauptsächlich zwei Formen: kontinuierliche Beschichtungsproduktionslinie und Einkammer-Beschichtungsmaschine, Herstellung von Edelstahlmaterial, Argon-Lichtbogenschweißen, chemische Oberflächenpolierbehandlung und verschiedene Spezifikationen von Flanschschnittstellen werden an die Vakuumkammerkomponenten geschweißt.
2, Vakuumerfassungsteil
In der Vakuumtechnik ist der Vakuumerfassungsteil ein wichtiger Teil. Die Erfassung des Vakuums kann nicht durch eine einzelne Vakuumausrüstung und ein Verfahren erreicht werden. Es müssen mehrere Pumpen in Kombination verwendet werden, wie z. B. mechanische Pumpen, Wälzkolbenpumpen, Molekularpumpensysteme usw.
3, Vakuummessteil
Der Vakuummessteil des Vakuumsystems misst den Druck in der Vakuumkammer. Wie eine Vakuumpumpe kann kein Vakuummeter den gesamten Vakuumbereich messen, daher wurden viele Arten von Vakuummetern nach unterschiedlichen Prinzipien und Anforderungen hergestellt. Wie Thermoelement-Messgerät, Ionisationsmessgerät, Pirani-Messgerät usw.
4. Stromversorgungsteil
Die Zielstromversorgung umfasst hauptsächlich eine DC-Stromversorgung, eine Zwischenfrequenzstromversorgung, eine Impulsstromversorgung und eine Hochfrequenzstromversorgung (RF). Gängige Hersteller von Netzteilen sind AE, ADL, Hottinger usw.
5. Prozessgas-Eingabesystem
Prozessgase wie Argon (Ar), Krypton (Kr), Stickstoff (N2), Acetylen (C2H2), Methan (CH4), Wasserstoff (H2), Sauerstoff (O2) etc. werden in der Regel aus Gasflaschen bereitgestellt. Gasdruckminderventil, Gasabsperrventil, Rohrleitung, Gasdurchflussmesser, Magnetventil, Piezoventil und dann in die Vakuumkammer. Der Vorteil dieses Gaseingangssystems liegt in der einfachen und übersichtlichen Rohrleitung und der einfachen Reparatur oder dem Austausch der Gasflasche. Die Beschichtungsmaschinen beeinflussen sich gegenseitig nicht. Es gibt auch Fälle, in denen sich mehrere Beschichtungsmaschinen einen Satz Gasflaschen teilen. Diese Situation kann in einigen großen Beschichtungswerkstätten beobachtet werden. Sein Vorteil ist, dass es die Belegung von Gasflaschen reduziert, eine einheitliche Planung und ein einheitliches Layout. Der Nachteil ist, dass aufgrund der zunehmenden Anzahl von Verbindungen die Wahrscheinlichkeit von Luftleckagen steigt. Darüber hinaus stören sich die Beschichtungsmaschinen gegenseitig, und aus der Rohrleitung einer Beschichtungsmaschine kann Luft austreten, was die Produktqualität anderer Beschichtungsmaschinen beeinträchtigen kann. Darüber hinaus ist beim Austausch von Gasflaschen darauf zu achten, dass sich alle Maschinen in einem gasfreien Zustand befinden.
6. Mechanisches Übertragungsteil
Die Beschichtung erfordert, dass die Dicke des Umfangs gleichmäßig sein muss. Daher müssen im Beschichtungsprozess drei Umdrehungen stattfinden, um die Anforderungen zu erfüllen. Das heißt, während sich der große Werkstücktisch drehen muss (I), dreht sich auch der kleine Werkstückträger (II) und das Werkstück selbst kann sich gleichzeitig drehen (III). Bei der mechanischen Konstruktion befindet sich in der Regel unten in der Mitte des großen Werkstückdrehtisches ein großes Antriebsrad, mit dem einige kleine Sternräder kämmen. Wenn das Produkt gedreht werden soll, wird das Werkstück im Allgemeinen durch eine Schaltgabel gedreht.
7, Heiz- und Temperaturmessteil
Beschichtungsanlagen haben im Allgemeinen Heizungen an verschiedenen Positionen, und Thermoelemente werden verwendet, um die Temperatur zu messen und zu steuern. Da sich die Thermoelement-Klemmposition jedoch von der Werkstückposition unterscheidet, kann der Temperaturmesswert nicht die wahre Temperatur des Werkstücks sein. Um die wahre Temperatur des Werkstücks zu messen, gibt es viele Methoden, Sie können Hochtemperatur-Testpapier oder Thermoelement-Messgerät am Werkstück anbringen.
8. Ionenverdampfungs- und Sputterquelle
Die Verdampfungsquelle von Multi-Arc-Plating hat im Allgemeinen die Form eines runden Kuchens, der allgemein als Round Cake Target bekannt ist, und es gibt auch rechteckige Multi-Arc-Targets. In der Zielbasis ist ein Magnet installiert. Durch Vor- und Zurückbewegen des Magneten wird die Intensität des Magnetfelds geändert und die Bewegungsgeschwindigkeit und Flugbahn des Lichtbogenflecks können eingestellt werden. Um die Temperatur des Targets und der Targetbasis zu senken, muss die Targetbasis kontinuierlich mit Kühlwasser versorgt werden. Um eine hohe elektrische und thermische Leitfähigkeit zwischen dem Target und der Targetbasis sicherzustellen, kann auch eine Zinndichtung zwischen dem Target und der Targetbasis hinzugefügt werden. Magnetron-Sputterbeschichtung verwendet im Allgemeinen rechteckige oder zylindrische Sputterkathoden.
9, Wasserkühlung
besteht im Allgemeinen aus Kaltwasserturm, Eiswassermaschine, Wasserpumpe usw.
10, industrielles Kontrollsystem
Spanisch
Portugiesisch