Wie beeinflusst der Betriebsdruck innerhalb der Magnetron -Sputterbeschichtungsmaschine die Qualität und Gleichmäßigkeit der auf Substrate angewendeten Beschichtung?
Der Betriebsdruck spielt eine direkte Rolle bei der Steuerung der Abscheidungsrate des Sputtermaterials auf dem Substrat. Bei niedrigen Drücken fährt der mittlere freie Weg - der Abstand, der ein g...