Wie verwaltet die PVD-Beschichtungsmaschine die Temperaturkontrolle während der Beschichtung, um eine Verformung des Substrats oder thermische Schäden zu verhindern?
Systeme zur Überwachung und Rückmeldung der Substrattemperatur Die PVD-Beschichtungsmaschine ist in hohem Maße auf eine präzise und kontinuierliche Überwachung der Substrattem...

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