Was ist das Arbeitsprinzip der Vakuumbeschichtungsmaschine?

Auf dem Gebiet der Beschichtung ist die Dicke der Filmprobe nach dem Beschichten ein wichtiger Faktor, der die Leistung des Films beeinflusst. Daher ist es bei der Bewertung der Leistung einer Filmprobe erforderlich, die Leistung der Filmprobe bei unterschiedlichen Dicken zu testen. Im Falle der Vakuumbeschichtung erfordert dies oft mehrere Probenvorbereitungen. Es gibt jedoch zwei Probleme bei der mehrfachen Vorbereitung von Proben: Erstens ist der Zustand des Instruments für die zu unterschiedlichen Zeiten gewachsenen Proben unterschiedlich, so dass der Faktor, der die Leistung der Filmprobe beeinflusst, möglicherweise nicht nur die Dicke ist; Zweitens muss die Probe im Vakuumbeschichtungsexperiment erneut vakuumiert werden. Die Beschaffung ist sehr zeitaufwändig. Erhöhen Sie die Produktions- und Testkosten.

Daher wird ein multifunktionales Magnetron-Sputter-Beschichtungssystem bereitgestellt. Dieses System wird durch ein Vakuumbeschichtungssystem und ein Glovebox-System integriert. Es kann die Dünnschichtverdampfung in einer Hochvakuumverdampfungskammer abschließen und verfügt über hochreines Inertgas im Handschuhkasten. Die Lagerung und Aufbereitung von Proben sowie der Nachweis von Proben nach dem Eindampfen erfolgen in einer Atmosphäre. Die Kombination aus Verdampfungsbeschichtung und Handschuhbox realisiert die vollständig geschlossene Produktion von Verdampfungs-, Verkapselungs-, Test- und anderen Prozessen, so dass der gesamte Filmwachstums- und Vorrichtungsvorbereitungsprozess hochgradig in ein vollständig kontrollierbares Umgebungsatmosphärensystem integriert ist, wodurch die organische Großfläche eliminiert wird Schaltungsvorbereitungsprozess Der Einfluss instabiler Faktoren in der atmosphärischen Umgebung garantiert die Herstellung von hochleistungsfähigen, großflächigen organischen optoelektronischen Bauelementen und Schaltungen.

Der Hauptzweck des multifunktionalen Magnetron-Sputter-Beschichtungssystems: Wird zur Herstellung verschiedener Metallfilme, Halbleiterfilme, dielektrischer Filme, Magnetronfilme, optischer Filme, supraleitender Filme, Sensorfilme und verschiedener spezieller Funktionsfilme verwendet.