Welche Rolle spielt Argon in der PVD-Beschichtungsanlage?

AR 2 ist ein Edelgas (ähnlich Helium, Neon, Xenon... gehören alle zum Edelgas). Bei PVD (Physical Vapour Deposition) wird es als Arbeitsgas verwendet, und seine Hauptfunktion besteht darin, Glow in PVD (Reinigung), Arbeitsgas beim Abscheiden von Filmen usw. zu verwenden. Da es sich um ein Gas in der Inertfamilie handelt, ist seine Aktivität ist nicht so stark wie andere Gase (wie Acetylen, Methan, Stickstoff, Sauerstoff); In der Produktion wird Argon als Arbeitsgas hauptsächlich aus wirtschaftlichen Erwägungen verwendet, und die Kosten stehen im Verhältnis zu anderen Inertgasen. Es ist das billigste, gefolgt von Helium (in PVD oder Vakuum), das zur Lecksuche verwendet wird.

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