Was ist das Prinzip der Vakuumbeschichtungsmaschine?

1. Vakuum-Hauptkörper——Die Größe der Vakuumkammer variiert je nach den Anforderungen der verarbeiteten Produkte. Derzeit sind die am häufigsten verwendeten Durchmesser 1, 3M, 0, 9M, 1, 5M, 1, 8M usw. Der Hohlraum besteht aus „Edelstahl“ target=_blank>Edelstahlmaterial, Anforderungen sind nicht rostig, fest usw. hat jeder Teil der Vakuumkammer ein Verbindungsventil, um jede Pumpe anzuschließen.

2. Hilfsluftabsaugsystem: Das Abgassystem ist ein wichtiger Teil des Vakuumsystems der Beschichtungsmaschine, das hauptsächlich aus mechanischen Pumpen, Druckerhöhungspumpen (hauptsächlich Roots-Pumpen) und Öldiffusionspumpen besteht. Dieses Abgassystem besteht aus einer „Diffusionspumpe, einer mechanischen Pumpe, einer Wurzelpumpe, einer kryogenen Kühlfalle, Polycold“. Der Absaugvorgang ist: Die mechanische Pumpe pumpt die Vakuumkammer zunächst auf einen niedrigen Vakuumzustand von weniger als 2,0*10-2PA, der eine Voraussetzung für das anschließende Vakuumieren der Diffusionspumpe schafft, und dann, wenn die Diffusionspumpe pumpt Vakuumkammer arbeitet die mechanische Pumpe zusammen. Die Öldiffusionspumpen sind in Reihe geschaltet, um auf diese Weise die Pumpwirkung zu vervollständigen.
Mechanische Pumpe: auch Vorpumpe genannt. Die mechanische Pumpe ist die am weitesten verbreitete Niedervakuumpumpe. Es verwendet Öl, um die Dichtwirkung aufrechtzuerhalten, und verlässt sich auf mechanische Verfahren, um das Volumen des Saughohlraums in der Pumpe kontinuierlich zu ändern, um den Behälter zu pumpen. Das Volumen des Gases im Inneren wird kontinuierlich erweitert, um ein Vakuum zu erhalten.

Klassifizierung von mechanischen Pumpen: Es gibt viele Arten von mechanischen Pumpen. Üblicherweise verwendet werden der Schiebeventiltyp (dies wird hauptsächlich in großen Geräten verwendet), der Kolbenhubtyp, der Festflügeltyp und der Drehflügeltyp (dies ist derzeit am weitesten verbreitet, dieser Artikel stellt hauptsächlich vor) vier Typen. Die mechanische Pumpe beginnt aus der Atmosphäre zu arbeiten. Seine Hauptparameter sind das Endvakuum und die Pumprate. Dies ist eine wichtige Grundlage für die Auslegung und Auswahl der mechanischen Pumpe. Die einstufige Pumpe kann den Behälter aus der Atmosphäre auf das Endvakuum von 1,0*10-1 Pa pumpen, und die zweistufige mechanische Pumpe kann den Behälter aus der Atmosphäre auf 6,7*10-2 Pa oder sogar pumpen höher. Das Fördervolumen bezeichnet die Gasmenge, die pro Zeiteinheit gefördert werden kann, wenn die Drehschieberpumpe mit Nenndrehzahl läuft. Es kann mit der folgenden Formel berechnet werden: Sth=2nVs=2nfsL fs stellt die Querschnittsfläche des Hohlraums am Ende des Ansaugens dar, und L stellt die Leerraumlänge dar, der Koeffizient gibt an, dass der Rotor zwei Abgase hat Prozesse pro Umdrehung, und Vs zeigt an, dass bei horizontaler Position des Rotors der Sog endet, das Volumen in der Kavität zu diesem Zeitpunkt am größten ist und die Drehzahl n beträgt. Die Absaugwirkung der mechanischen Pumpe hängt auch von der Drehzahl des Motors und der Straffheit des Riemens ab. Wenn der Riemen des Motors relativ locker ist und die Drehzahl des Motors sehr langsam ist, verschlechtert sich auch die Abgaswirkung der mechanischen Pumpe, so dass häufige Wartung erforderlich ist. Auch die Dichtwirkung des mechanischen Pumpenöls muss regelmäßig überprüft werden. Bei zu wenig Öl wird die Dichtwirkung nicht erreicht. Die Pumpe entweicht Luft, zu viel Öl verstopft die Saugöffnung und es ist unmöglich, einzuatmen und auszustoßen. Der Ölstand liegt 0 bzw. 5 cm unter der Linie. Mechanische Pumpen werden häufig zum Abpumpen trockener Luft verwendet, können jedoch keine Gase mit hohem Sauerstoffgehalt, explosive und korrosive Gase abpumpen. Mechanische Pumpen werden im Allgemeinen verwendet, um permanente Gase abzupumpen, aber sie sind nicht gut für Feuchtigkeit. Wirkung, kann also keine Feuchtigkeit entziehen. Die Hauptteile der Drehschieberpumpe sind Stator, Rotor, Schrapnell usw. Der Rotor befindet sich im Stator, hat aber eine andere Achse als der Stator, wie zwei Inkreise. Im Rotorschlitz befinden sich zwei Splitter, und zwischen den beiden Splittern ist eine Feder installiert. Stellen Sie sicher, dass der Schrapnell fest an der Innenwand des Stators befestigt ist.