Strategie verbessern:
Verstärken Sie die Entfettungs- und Dekontaminationsbehundlung. Wenn es sich um eine Ultraschallreinigung handelt, sollte die Entfettungsfunktion im Vordergrund stehen und die Wirksamkeit der Entfettungslösung sichergestellt werden; Wenn es von Hand abgewischt wird, sollten Sie zuerst mit Calciumcarbonatpulver und dann abwischen.
Stärken Sie das Backen vor dem Überziehen. Wenn die Bedingungen dies zulassen, ist es besser, dass die Substrattemperatur 300 ° C oder mehr erreichen kann, und die konstante Temperatur sollte mehr als 20 Minuten betragen, damit sich der Wasserdampf und der Öldampf auf der Oberfläche des Substrats so weit wie möglich verflüchtigen. *Hinweis: Je höher die Temperatur, desto größer die Adsorptionskapazität des Substrats, es ist auch leicht, Staub zu adsorbieren. Daher sollte die Sauberkeit der Vakuumkammer verbessert werden. Andernfalls haftet Staub vor dem Plattieren auf dem Substrat, was die Festigkeit des Films zusätzlich zu anderen Defekten beeinträchtigt. (Die chemische Desorptionstemperatur von Wasserdampf auf dem Substrat im Vakuum liegt über 260℃). Es müssen jedoch nicht alle Teile bei hoher Temperatur gebrannt werden, und einige Nitratmaterialien haben eine hohe Temperatur, aber die Filmfestigkeit ist nicht hoch und es können Flecken auftreten. Dies hat eine größere Beziehung zu Belastung und thermischer Anpassung von Materialien.
Wenn es die Bedingungen zulassen, ist die Einheit mit einem Kondensator (PLOYCOLD) ausgestattet, der nicht nur die Vakuumpumpgeschwindigkeit der Einheit erhöhen kann, sondern auch dazu beiträgt, Wasserdampf sowie Öl und Gas vom Substrat zu entfernen.
Erhöhen Sie den Vakuumverdampfungsgrad. Für die Beschichtungsmaschine über 1 Meter sollte das Startvakuum der Verdampfung höher als 3*10-3 Pa sein. Je größer die Beschichtungsmaschine, desto höher das Startvakuum der Verdampfung.
Wenn möglich, ist die Einheit mit einer Ionenquelle ausgestattet, die vor dem Plattieren beschossen wird, die Oberfläche des Substrats reinigt und den Plattierungsprozess unterstützt, was der Kompaktheit und Festigkeit des Films förderlich ist.
Um Feuchtigkeit aus dem Membranmaterial zu entfernen, legen Sie das zu verwendende Membranmaterial zum Trocknen in eine Petrischale in eine Vakuumkammer.
Halten Sie die Arbeitsumgebung trocken (einschließlich Linsenreinigung, Arbeitsbereich mit Regenschirmen) und bringen Sie beim Reinigen der Arbeitsumgebung nicht zu viel Wasserdampf hinein.
Bei mehrschichtigen Filmen ist es beim Entwerfen des Filmsystems notwendig, die Anpassung des ersten Films und des Substrats zu berücksichtigen und so viel wie möglich Al2O3-Filmmaterial zu verwenden, das eine gute Adsorptionskraft für die meisten Substrate hat. Bei Metallfilmen kann auch die erste Schicht aus Cr- oder Cr-Legierungsplattierung in Betracht gezogen werden. Cr oder Cr-Legierungen haben auch eine bessere Adsorptionskraft für das Substrat.
Verwenden Sie Polierflüssigkeit (Polierflüssigkeit), um die korrodierte Schicht (hydrolysierte Schicht) auf der Oberfläche der Linse zu sanieren und zu entfernen
Manchmal ist eine angemessene Verringerung der Verdampfungsrate hilfreich, um die Filmfestigkeit zu erhöhen, und hat eine positive Bedeutung bei der Verbesserung der Glätte der Filmoberfläche.
Filmstress:
Der Filmbildungsprozess eines dünnen Films ist ein Transformationsprozess der materiellen Form. Es ist unvermeidlich, dass es nach der Filmbildung zu Spannungen in der Filmschicht kommt. Bei mehrschichtigen Folien gibt es Kombinationen verschiedener Folienmaterialien und die Spannungen, die von jeder Folienschicht reflektiert werden. Es gibt Unterschiede, einige sind Zugspannungen, andere Druckspannungen und es gibt thermische Spannungen der Folie und des Substrats.
Das Vorhandensein von Spannungen ist der Festigkeit des Films abträglich. Das leichtere bedeutet, dass die Folie der Reibung nicht standhalten kann, und das schwere verursacht Risse oder dünne Netze in der Folie.
Bei Antireflexionsfolien ist die Belastung aufgrund der geringen Anzahl von Schichten im Allgemeinen nicht offensichtlich. (Einige Nitratlinsen haben jedoch Stressprobleme, selbst wenn sie Antireflexionsfilme sind.) Bei hochreflektierenden Filmen und Filterfilmen mit mehreren Schichten ist der Stress ein allgemeiner unerwünschter Faktor, dem besondere Aufmerksamkeit geschenkt werden sollte.
Strategie verbessern:
Nach dem Überziehen backen. Nachdem die letzte Filmschicht plattiert ist, hören Sie nicht sofort auf zu backen und fahren Sie 10 Minuten lang mit dem "Tempern" fort. Machen Sie die Filmstruktur stabiler.
Die Abkühlzeit wird entsprechend verlängert und das Glühen altert. Reduzieren Sie die thermische Belastung, die durch den zu hohen Temperaturunterschied zwischen dem Inneren und dem Äußeren der Vakuumkammer verursacht wird.
Bei hochreflektierenden Folien, Filterfolien etc. sollte die Substrattemperatur während des Bedampfungsprozesses nicht zu hoch sein, da hohe Temperaturen zu thermischen Spannungen führen können. Und es wirkt sich negativ auf die optische Stabilität von Filmmaterialien wie Titanoxid und Tantaloxid aus.
Ionen unterstützen den Beschichtungsprozess, um Stress abzubauen.
Wählen Sie das passende Foliensystem, die erste Lage Folienmaterial und das passende Substrat. (Zum Beispiel verwendet der fünfschichtige Antireflexionsfilm Al2O3-ZrO2-Al2O3-Al2O3-ZrO2-MgF2; ZrO2 kann auch SV-5 (ein ZrO2-TiO2-Mischfilmmaterial) oder andere gemischte Filmmaterialien mit hohem Brechungsindex verwenden.
Verdunstungsrate entsprechend reduzieren (Referenzrate Al2O3-2.5A/S; ZrO2-3A/S; MgF2-6A/S)
Die sauerstofffüllende Reaktionsplattierung wird auf allen Oxidfilmmaterialien durchgeführt, und die Sauerstoffgasaufnahmerate wird gemäß den verschiedenen Filmmaterialien gesteuert.
Oberflächenhärte der Außenfolie:
Der Antireflexionsfilm verwendet im Allgemeinen MgF2 als Außenschicht. Der Querschnitt des Films ist eine relativ lockere Säulenstruktur und die Oberflächenhärte ist nicht hoch, sodass die Straße leicht abgewischt werden kann.
Strategie verbessern:
Wenn das Design des Filmsystems dies zulässt, fügen Sie der äußeren Schicht eine SiO2-Schicht von etwa 10 nm hinzu, und die Oberflächenglätte von Siliziumdioxid ist besser als die von Magnesiumfluorid (aber die Verschleißfestigkeit und Härte von Siliziumdioxid sind nicht so gut wie von Magnesiumfluorid). Nach einigen Minuten Ionenbeschuss nach dem Plattieren wird die Wirkung der Festigkeit besser sein. (Aber die Oberfläche wird dicker)
Nachdem die Linse die Vakuumkammer verlassen hat, legen Sie sie an einen trockenen und sauberen Ort, um eine schnelle Feuchtigkeitsaufnahme zu verhindern und die Oberflächenhärte zu verringern.
Sonstiges
Zu den Gründen für die schlechte Filmfestigkeit gehören ein niedriges Vakuum (das bei manuell gesteuerten Maschinen auftritt), eine verschmutzte Vakuumkammer und eine unzureichende Substratheizung.
Wenn das Hilfsgas eingefüllt wird, gast das Membranmaterial auch aus, was den Vakuumgrad verringert, die molekulare freie Weglänge verringert und die Membranschicht nicht stark ist. Daher sollte das Füllen des Hilfsgases das Entgasen des Filmmaterials berücksichtigen, und das Filmmaterial wird vor dem Plattieren vollständig vorgeschmolzen und vollständig entgast, wodurch auch die übermäßige Abnahme des Vakuumgrads aufgrund des Entgasens des Films vermieden werden kann Material während der Verdampfung, wodurch die Filmfestigkeit beeinflusst wird.
Nehmen Sie die Folie ab
Obwohl die Filmveröffentlichung hier auch eine Art schwacher Film ist, weist sie einige Unterschiede zur vorherigen Filmveröffentlichung auf. Die Hauptmerkmale sind: Point Release, Edge Release und Partial Release.
Der Hauptgrund ist, dass sich Schmutz oder Schadstoffe in der Membran befinden.
Verbesserungsmethode: Verbesserung der Sauberkeit des Substrats.
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