Was sind gängige Targetmaterialien für PVD-Beschichtungen?

Das Beschichtungsmaterial, das gesputtert oder verdampft werden soll, wird als „Target“ oder „Quellenmaterial“ bezeichnet. Es gibt Hunderte von Materialien, die üblicherweise in PVD verwendet werden Lieferanten von Verdampfungs-Vakuumbeschichtungsmaschinen . Je nach Endprodukt reichen die Materialien von Metallen, Legierungen, Keramiken, Zusammensetzungen und so ziemlich allem aus dem Periodensystem.

Einige Prozesse erfordern einzigartige Beschichtungen wie Karbide, Nitride, Silizide und Boride für spezielle Anwendungen. Jedes hat spezielle Qualitäten, die auf spezifische Leistungsanforderungen zugeschnitten sind. Graphit und Titan werden beispielsweise häufig in Hochleistungsbauteilen für die Luft- und Raumfahrt und die Automobilindustrie eingesetzt, wo Reibung und Temperatur entscheidende Erfolgsfaktoren sind.

Um eine gleichmäßige Dünnschichtdicke zu erreichen, die oft nur wenige Atome oder Moleküle dick ist, werden zu beschichtende Teile oft mit gleichmäßiger Geschwindigkeit um mehrere Achsen gedreht oder auf Förderbänder gelegt, die sich am Plasmastrom des Abscheidungsmaterials vorbeibewegen. Ein- oder mehrschichtige Beschichtungen können während desselben Abscheidungszyklus aufgebracht werden.

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