Aufbauprinzip einer Vakuumbeschichtungsmaschine

Die Membranmaschine ist derzeit die am weitesten verbreitete Ausrüstung zur Herstellung von Vakuumbedingungen. Die zugehörigen Komponenten und Komponenten: mechanische Pumpe, Druckerhöhungspumpe, Öldiffusionspumpe, Kondensatpumpe, Vakuummesssystem.
Vakuumkörper-Vakuumkammern haben je nach verarbeiteten Produkten unterschiedliche Anforderungen, und auch die Größe der Vakuumkammer ist unterschiedlich. Derzeit sind die am weitesten verbreiteten 1,3 M, 0,9 M, 1,5 M, 1,8 M usw. Die Kammer besteht aus Edelstahl, und die Anforderungen Rostig, fest usw. Es gibt Verbindungsventile in jedem Teil des Vakuums Kammer, die zum Anschluss jeder Saugpumpe verwendet werden. Vakuumbeschichtungsmaschine

Hauptsächlich in 4 Teile unterteilt, Vakuumeinheit, Vakuumbox, Verdampfungssystem, Steuerungssystem.
Die Einheit kann unterteilt werden in: Niedervakuum, Hochvakuum, Wurzelpumpeneinheit, Diffusionspumpeneinheit, Molekularpumpeneinheit, Kryopumpeneinheit usw.
Die Verdampfung wird unterteilt in: Elektronenstrahlverdampfung, Widerstandsheizungsverdampfung, Magnetron-Sputterverdampfung, Multi-Arc-Verdampfung