Gemeinsame Vakuumterminologie 3

1. Vakuumbereiche: Der Vakuumbereich ist grob wie folgt unterteilt:

Pa        Torr

Niedriges Vakuum:            10 ⁵ ～10 ² 760~1
Mittleres Vakuum:          10 ² ～10 ^-1 1~10 ^-3

Hochvakuum:            10 ^-1 ～10 ^-5 10 ^-3 ～10 ^-7

Ultrahochvakuum:       <10 ^-5 <10 ^-7

2. Gas：Substanzen, die frei jeden Raum einnehmen können und keinen intermolekularen Wechselwirkungen unterliegen. Hinweis: In der Vakuumtechnik wird der Begriff „Gas“ nicht streng auf nicht kondensierbare Gase und Dampf angewendet.
3. n，m-3 Anzahldichte von Molekülen：Zu einem bestimmten Zeitpunkt ist die China PVD-Überzugsmaschine Lieferanten Anzahl der Moleküle im Volumen um einen Punkt im Gas wird durch dieses Volumen geteilt.
4. ι、λ，m bedeutet freie Weglänge：Die Entfernung, die ein Molekül mit anderen gasförmigen Molekülen bei zwei aufeinanderfolgenden Kollisionen zurücklegt, wird als freie Weglänge bezeichnet. Der Durchschnitt einer ganzen Reihe verschiedener freier Pfade wird als durchschnittlicher freier Pfad bezeichnet.