Gemeinsame Vakuumterminologie 10

1. Wartungspumpe: Im Vakuumsystem ist das Luftvolumen sehr gering und die vordere Pumpe kann nicht effektiv genutzt werden. Zu diesem Zweck ist zur Wartung der Hauptpumpe eine kleine Hilfspumpe vorgesehen, die als Wartungspumpe bezeichnet wird. Wenn am Ausgang der Diffusionspumpe eine kleine Drehschieberpumpe installiert ist, handelt es sich um die Wartungspumpe. China PVD-Beschichtungsmaschine Lieferanten
2. Vakuumbeschichtung: Ein Verfahren zur Herstellung eines Films auf einem Substrat im Vakuum.
3. Substrat: Membranakzeptor.
4. Testsubstrat: Substrat, das zu Beginn, während oder nach der Beschichtung für Messungen und/oder Tests verwendet wird.
5. Beschichtungsmaterial: Rohstoffe zur Herstellung von Filmen.
6. Sputtermaterial: Beschichtungsmaterial, das zum Sputtern beim Vakuumsputtern verwendet wird.
7. Filmmaterial: Materialien, aus denen der Film besteht.
8. Sputterrate: In einem bestimmten Zeitintervall wird die Menge des gesputterten Materials durch das Zeitintervall geteilt.
9. Abscheidungsrate: In einem bestimmten Zeitintervall wird die auf dem Substrat abgeschiedene Materialmenge durch das Zeitintervall und die Oberfläche des Substrats geteilt.