Gängige Methoden zur Erkennung von Vakuumlecks

Lecksuche durch Helium-Massenspektrometrie

Diese Technologie ist eine unverzichtbare Technologie im Bereich der Vakuumlecksuche. Es ist weit verbreitet in der Lecksuche wegen seiner hohen Lecksucheffizienz, einfachen Bedienung, empfindlichen Instrumentenreaktion, hoher Präzision und nicht China PVD-Beschichtungssysteme Lieferanten leicht durch andere Gase gestört werden. Der Helium-Massenspektrometer-Lecksucher ist eine Art Gasdichtigkeitsprüfgerät, das auf dem Prinzip der Massenspektrometrie basiert und Helium als Leckanzeigegas verwendet. Es besteht aus einer Ionenquelle, einem Analysator, einem Kollektor, einem Kaltkathoden-Ionisationsmessgerät, einer Massenspektrometriekammer, einem Abgassystem und einem elektrischen Teil. Elektronen, die von dem Filament in der Massenspektrometriekammer emittiert werden, oszillieren im Raum hin und her und kollidieren mit dem Innengas und Helium, das durch das undichte Loch in den Raum eintritt, um zu positiven Ionen zu ionisieren. Diese Heliumionen treten in das Magnetfeld unter der linken und rechten Gehirnhälfte des beschleunigten elektrischen Felds ein und werden aufgrund der Wirkung der Lorentzkraft abgelenkt, bilden eine Kreisbogenbahn und ändern das beschleunigte elektrische Feld. Druck ermöglicht die Detektion von Ionen unterschiedlicher Masse, indem sie den Empfangspol durch Magnetfelder und Empfangsschlitze erreichen. Die Helium-Injektionsmethode und die Helium-Absorptionsmethode sind die beiden am häufigsten verwendeten Methoden zur Lecksuche von Helium-Massenspektrometern.